[實(shí)用新型]一種用于硅片上料系統(tǒng)的片盒架有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201420302258.2 | 申請(qǐng)日： | 2014-06-09 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN203950793U | 公開（公告）日： | 2014-11-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 陳勇平;郭立;龍輝;任哲;寧澍 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所 |
| 主分類號(hào)： | H01L21/673 | 分類號(hào)： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 長(zhǎng)沙正奇專利事務(wù)所有限責(zé)任公司 43113 | 代理人： | 馬強(qiáng);李發(fā)軍 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 國(guó)省代碼： | 湖南;43 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 用于 硅片 系統(tǒng) 片盒架 | ||
1.?一種用于硅片上料系統(tǒng)的片盒架，包括底板（1）和頂板（5），以及連接底板（1）和頂板（5）的側(cè)板（2）；所述底板（1）和頂板（5）之間放置多個(gè)硅片盒（8）；其特征是，在硅片盒（8）一側(cè)設(shè)有用于將多個(gè)硅片盒（8）內(nèi)的硅片（9）同時(shí)推出的推板（4），該推板（4）朝向硅片盒（8）一側(cè)設(shè)有減緩沖擊的緩沖部件。
2.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于硅片上料系統(tǒng)的片盒架，其特征是，所述底板（1）和頂板（5）上均裝有直線導(dǎo)軌（6），所述推板（4）的兩端分別固定在相應(yīng)側(cè)的直線導(dǎo)軌（6）上，兩根直線導(dǎo)軌（6）相互平行，用于推板（4）將硅片盒（8）中的硅片（9）推出硅片盒（8）一段距離時(shí)的導(dǎo)向。
3.?根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用于硅片上料系統(tǒng)的片盒架，其特征是，所述緩沖部件為海綿（7），各海綿（7）通過海綿固定夾塊固定在推板（4）上。
4.?根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于硅片上料系統(tǒng)的片盒架，其特征是，所述海綿（7）為防靜電海綿。
5.?根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用于硅片上料系統(tǒng)的片盒架，其特征是，所述硅片盒（8）有三個(gè)，相鄰兩個(gè)硅片盒之間設(shè)有隔板（3）。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
