[實用新型]一種用于硅片上料系統(tǒng)的片盒架有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201420302258.2 | 申請日: | 2014-06-09 |
| 公開(公告)號: | CN203950793U | 公開(公告)日: | 2014-11-19 |
| 發(fā)明(設計)人: | 陳勇平;郭立;龍輝;任哲;寧澍 | 申請(專利權(quán))人: | 中國電子科技集團公司第四十八研究所 |
| 主分類號: | H01L21/673 | 分類號: | H01L21/673 |
| 代理公司: | 長沙正奇專利事務所有限責任公司 43113 | 代理人: | 馬強;李發(fā)軍 |
| 地址: | 410111 湖南*** | 國省代碼: | 湖南;43 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 用于 硅片 系統(tǒng) 片盒架 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型涉及太陽能電池制造自動化設備領(lǐng)域,尤其涉及一種用于硅片上料系統(tǒng)的片盒架。
背景技術(shù)
目前,將盒裝硅片取出時,由于硅片盒的本身結(jié)構(gòu)原因,現(xiàn)有的取片系統(tǒng)一次只能處理一盒硅片,并且由于在使用過程中硅片盒逐漸發(fā)生變形,這樣更加增加出片難度,使得經(jīng)常出現(xiàn)卡片現(xiàn)象。
實用新型內(nèi)容
針對現(xiàn)有技術(shù)的不足,本實用新型旨在提供一種用于硅片上料系統(tǒng)的片盒架,增加一次可供處理的硅片數(shù)量,同時減少卡片現(xiàn)象的發(fā)生。
為了實現(xiàn)上述目的,本實用新型所采用的技術(shù)方案是:
一種用于硅片上料系統(tǒng)的片盒架,包括底板和頂板,以及連接底板和頂板的側(cè)板;所述底板和頂板之間放置多個硅片盒;其結(jié)構(gòu)特點是,在硅片盒一側(cè)設有用于將多個硅片盒內(nèi)的硅片同時推出的推板,該推板朝向硅片盒一側(cè)設有減緩沖擊的緩沖部件。
以下為本實用新型的進一步改進的技術(shù)方案:
為了方便準確地推出硅片,所述底板和頂板上均裝有直線導軌,所述推板的兩端分別固定在相應側(cè)的直線導軌上,兩根直線導軌相互平行,用于推板將硅片盒中的硅片推出硅片盒一段距離時的導向。
進一步地,所述緩沖部件為海綿,各海綿通過海綿固定夾塊固定在推板上。優(yōu)選地,所述海綿為防靜電海綿。
根據(jù)本實用新型的實施例,所述硅片盒有三個,相鄰兩個硅片盒之間設有隔板。
與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實用新型的有益效果是:本實用新型提高了單位設備的產(chǎn)能,同時減少了故障現(xiàn)象的發(fā)生頻率。
附圖說明
圖1是本實用新型一個實施例的結(jié)構(gòu)原理圖(推板打開狀態(tài));
圖2是一種實施例的推板關(guān)閉狀態(tài)示意圖。
在圖中
1-底板;???????2-側(cè)板;?????3-隔板;?????4-推板;????5-頂板;??
6-直線導軌;???7-海綿;?????8-硅片盒;????9-硅片。
具體實施方式
下面結(jié)合附圖詳細說明本實用新型的實施例。需要說明的是附圖序號只表示本實施例的主要零部件,其它沒有一一例出。
一種用于硅片上料系統(tǒng)的片盒架,如圖1和2所示,主要由底板1、側(cè)板2、隔板3、推板4、頂板5、直線導軌6、海綿7組成。上料時,將三個硅片盒8放到一個底板1和兩個隔板3上并布置在同一條線上,如圖1所示。然后沿著直線導軌6的導向方向推動推板4,從而帶動安裝在推板4上的海綿7將三個硅片盒8中的硅片9推出硅片盒8一段距離,如圖2所示。
本實用新型的片盒架提高了單位設備的產(chǎn)能,同時減少了故障現(xiàn)象的發(fā)生頻率。
以上所述僅為本實用新型的實施例,并非用于限定本實用新型的保護范圍,而是用于說明本實用新型。凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi),所作的任何修改、等同替換、改進等,均應包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





