[實(shí)用新型]基板載具

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420296035.X
• 申請(qǐng)日: 2014-06-05
• 公開（公告）號(hào): CN203871307U
• 公開（公告）日: 2014-10-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 顏暉展;朱筱惠
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中勤實(shí)業(yè)股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/673
• 分類號(hào): H01L21/673
• 代理公司: 北京匯智英財(cái)專利代理事務(wù)所(普通合伙) 11301
• 代理人: 劉祖芬

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種基板載具。?

背景技術(shù)

于一般基板的工藝中，例如太陽能電池片的基板，其一片一片疊置于一基板載具（例如矩形狀之盒體）內(nèi)，并以機(jī)械手臂以吸嘴模組從基板載具內(nèi)吸（抓）取一片一片疊置的基板（即所謂“分頁”）以進(jìn)行相關(guān)工藝。

然而，因目前科技進(jìn)步，基板在制作上越來越薄，當(dāng)以機(jī)械手臂抓取基板載具內(nèi)所容置的基板時(shí)，容易造成基板因?yàn)樽矒舻捷d具的環(huán)側(cè)壁而導(dǎo)致破片的問題，因此相對(duì)降低工藝良率，故不理想。

實(shí)用新型內(nèi)容

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型一種基板載具，其呈盒狀并包括一底板、由該底板向上延伸的一環(huán)側(cè)壁及由該環(huán)側(cè)壁相對(duì)該底板共同圍繞出的一容置空間，且該環(huán)側(cè)壁設(shè)有至少一區(qū)段部分，該區(qū)段部上下延伸有一彈性構(gòu)件。

本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，其中該環(huán)側(cè)壁的區(qū)段部分的設(shè)置數(shù)量為四個(gè)，且該區(qū)段部分彼此之間間隔出一距離。

本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，其中該四個(gè)區(qū)段部分的每一者的兩側(cè)分別由上而下朝向該底板漸擴(kuò)傾方向斜出一斜邊，該底板呈矩形狀并包括四個(gè)轉(zhuǎn)角，該四個(gè)區(qū)段部分分別呈L形狀并分別位于該四個(gè)轉(zhuǎn)角，其中該區(qū)段部分包括一轉(zhuǎn)折處及一凹槽，且該凹槽上下延伸凹設(shè)于該轉(zhuǎn)折處，該彈性構(gòu)件包括至少一彈性臂。

本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，其中該彈性臂的縱截面呈倒L形。

本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，其中該彈性臂包括一自由端。

本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，其中該彈性臂呈倒U形、實(shí)心長(zhǎng)柱狀或中空長(zhǎng)管狀。

本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，還包括一外盒體，該基板載具設(shè)于該外盒體內(nèi)，其中該彈性臂的數(shù)量為數(shù)個(gè)，且數(shù)個(gè)該彈性臂彼此之間間隔出一間隙。

上述實(shí)施例中，其中該基板載具與該外盒體一體成型。

上述實(shí)施例中，其中該環(huán)側(cè)壁凸伸有一環(huán)肩部，該環(huán)肩部凸設(shè)有數(shù)個(gè)凸緣，該外盒體開設(shè)有數(shù)個(gè)開孔，且該數(shù)個(gè)凸緣分別嵌入于該數(shù)個(gè)開孔。

本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，其中該彈性臂的形狀是選自下列群組中的其中之一：

該彈性臂呈實(shí)心圓柱狀；

該彈性臂呈中空?qǐng)A柱狀并包括一外徑及一內(nèi)徑，且該外徑與該內(nèi)徑的比值大于等于2.0的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，從而使得該彈性臂在其徑向具有最佳的緩沖功效，以消除基板因撞擊到載具的內(nèi)壁而導(dǎo)致破片的風(fēng)險(xiǎn)；

該彈性臂呈中空?qǐng)A柱狀并包括一長(zhǎng)度及一外徑，且該長(zhǎng)度徑與該外徑之比值大于等于2.0的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，從而使得該彈性臂在其軸向具有最佳之緩沖功效，以消除基板因撞擊到載具之內(nèi)壁而導(dǎo)致破片的風(fēng)險(xiǎn)；

該彈性臂呈矩形狀并包括一長(zhǎng)度及一寬度，且該長(zhǎng)度徑與該寬度之比值大于等于2.0的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，從而使得該彈性臂在其寬度方向具有最佳之緩沖功效，以消除基板因撞擊到載具之內(nèi)壁而導(dǎo)致破片的風(fēng)險(xiǎn)；

該彈性臂呈矩形狀并包括一長(zhǎng)度及一厚度，且該長(zhǎng)度與該厚度比值大于等于2.0的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，從而使得該彈性臂在其厚度方向具有最佳之緩沖功效，以消除基板因撞擊到載具之內(nèi)壁而導(dǎo)致破片的風(fēng)險(xiǎn)；以及

該彈性臂呈矩形狀并包括一寬度及一厚度，且該寬度與該厚度比值大于等于2.0的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，從而使得該彈性臂在其寬度方向具有最佳之緩沖功效，以消除基板因撞擊到載具之內(nèi)壁而導(dǎo)致破片的風(fēng)險(xiǎn)。

本實(shí)用新型一種基板載具，借助環(huán)側(cè)壁的區(qū)段部分上下延伸有彈性構(gòu)件的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，當(dāng)在分頁工藝中抓取基板載具內(nèi)所容置的基板時(shí)，該彈性臂具有最佳的緩沖功效以借此消除基板因撞擊到載具的內(nèi)壁而導(dǎo)致破片的風(fēng)險(xiǎn)，并相對(duì)可借以提高工藝良率。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型第一較佳具體實(shí)施例的立體圖。

圖2為本實(shí)用新型第一較佳具體實(shí)施例容置基板的剖視圖。

圖3為本實(shí)用新型第一較佳具體實(shí)施例的使用狀態(tài)示意圖之一。

圖4為本實(shí)用新型第一較佳具體實(shí)施例的使用狀態(tài)示意圖之二。

圖5為本實(shí)用新型第一較佳具體實(shí)施例的使用狀態(tài)示意圖之三。

圖6為本實(shí)用新型第二較佳具體實(shí)施例的立體圖。

圖7系為本實(shí)用新型第三較佳具體實(shí)施例的立體圖。

圖8為本實(shí)用新型第四較佳具體實(shí)施例的立體圖。

圖9為本實(shí)用新型第五較佳具體實(shí)施例的立體圖。

圖10為本實(shí)用新型第六較佳具體實(shí)施例的立體圖。

圖11為本實(shí)用新型第七較佳具體實(shí)施例的立體圖。

圖12為本實(shí)用新型第七較佳具體實(shí)施例的彈性臂的尺寸示意圖。

圖13為本實(shí)用新型第七較佳具體實(shí)施例的另一彈性臂的尺寸示意圖。

【符號(hào)說明】