[實用新型]一種可測壓比的嵌入式分子泵

有效

• 申請號: 201420295835.X
• 申請日: 2014-06-05
• 公開（公告）號: CN203906330U
• 公開（公告）日: 2014-10-29
• 發明（設計）人: 劉巍;韓莉果;郭子學;龐志瑩
• 申請（專利權）人: 核工業理化工程研究院
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04;F04D27/00
• 代理公司: 天津市宗欣專利商標代理有限公司 12103
• 代理人: 胡恩河

技術領域

本實用新型屬于一種分子泵，具體涉及一種可測壓比的嵌入式分子泵。

背景技術

牽引分子泵是依靠氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得動量，從而將氣體分子驅送到泵的出口。

牽引式分子泵進出口壓力的變化情況及壓縮比（進出口壓力的比值）能夠直觀地反應出該裝置的工作狀態和抽氣性能，因此各級分子泵進出口壓力的實時測量在該裝置的研制過程中具有十分重要的意義。目前通用的分子泵設備僅能與裝置串聯后對其進行抽空，但其抽空效果較差，尤其是在某種轉動部件需要高速旋轉進而要求其周圍壓力極低的狀態下時根本無法滿足抽空要求，以致電機功率無法進一步降低。因此需要設計一套既可以測量具有特殊要求的分子泵例如嵌入裝置內部的牽引式分子泵中各級分子泵進出口壓力，又不破壞裝置本身結構的分子泵。

發明內容

本實用新型是為了克服現有技術存在的缺陷而提出的，其目的是提供一種可測壓比的嵌入式分子泵。

本實用新型的技術方案是：一種可測壓比的嵌入式分子泵，包括殼體，在殼體內安裝有轉子，在殼體的頂部設置有端面法蘭，在殼體和轉子之間設置有第一級分子泵，第一級分子泵頂部過盈連接盤狀第三級分子泵，在第三級分子泵的裝配槽中過盈連接第二級分子泵，端面法蘭和第三級分子泵螺釘連接，在殼體的下部外側設置有入口測壓裝置，在端面法蘭的頂端分別連接有第一級分子泵出口測壓裝置、第二級出口測壓裝置和第三級出口測壓裝置。

在所述的端面法蘭上沿圓周形成均布的第一級測壓連接孔、第二級測壓連接孔和第三級測壓連接孔，在上述連接孔的兩側形成螺孔。

所述的第一級分子泵為圓筒形，在圓形內壁形成螺旋導氣槽，且呈右旋狀態，螺旋導氣槽截面呈“U”型槽，在第一級分子泵的頂端一側形成異徑孔狀的第一級引壓孔。

所述的第二級分子泵為圓盤形，在其下端面形成多個沿圓周均布的槽壁和抽氣槽、并相間分布，在其圓周的外側形成三個均布的第二級外圓豁口，在其圓周的內側形成第二級內圓豁口。

所述的第三級分子泵為厚壁圓筒形，在其下部形成圓環形的裝配槽，在其中間形成中心通孔，在中心通孔的內壁形成螺旋導氣槽，且呈右旋狀態，螺旋導氣槽截面呈“U”型槽，其下端面形成多個沿圓周均布的槽壁和抽氣槽、并相間分布，在裝配槽內沿圓周形成均布的三個通孔。

第二級分子泵上的槽壁和第三級分子泵上的槽壁呈連續的放射狀弧線、并互相對齊；第二級分子泵上的抽氣槽和第三級分子泵上的抽氣槽的槽型均為變寬度的矩形槽、呈連續的放射狀弧線、并互相對齊。

所述的第一級分子泵出口測壓裝置、第二級出口測壓裝置和第三級出口測壓裝置結構相同，均由固定法蘭、連接管和真空計底座組成。

本實用新型結構簡單，易于加工和裝配，圓柱臺的設計與使用保證了第三級分子泵出口處測壓的可行性，連接法蘭的運用，解決了無法連續引壓的難題，并且避免了引壓過程中的斷裂、漏氣、堵塞等風險，端面法蘭用測壓組件的使用，解決了引壓管由機器內部穿出而無法密封的問題，端面法蘭上的引壓位置以及測速線圈連接頭位置的合理布局保證了離心機的正常裝配，同時也保證了在正常工作時其安全保護裝置能夠正常工作不受影響。

附圖說明

圖1?是本實用新型的主視圖（沿圖2中A-A線剖面）；

圖2?是本實用新型的俯視圖；

圖3?是本實用新型的未安裝轉子時的仰視圖；

圖4?是圖2中沿B-B線的剖面的圖；

圖5?是本實用新型的端面法蘭的俯視圖；

圖6?是第一級分子泵的示意圖；

圖7?是第二級分子泵的仰視圖；

圖8?是第三級分子泵的俯視圖；

圖9?是第三級分子泵的主視圖（沿圖8中C-C線剖面）；

圖10?是第三級分子泵的仰視圖；

圖11?是圖6、圖9中沿D-D線的剖面；

圖12?是圖7、圖10中沿E-E線的剖面；

圖13?是連接法蘭安裝位置示意圖；

圖14?是帶引壓管的連接法蘭示意圖；

圖15?是連接法蘭結構示意圖；

圖16?是測壓組件安裝示意圖；

圖17?是測壓組件結構示意圖。

??????其中：

??????1??殼體????????????????2??轉子

??????3??端面法蘭????????????4??第一級分子泵

??????5??第二級分子泵????????6??第三級分子泵??