[實用新型]一種可測壓比的嵌入式分子泵

有效

• 申請號: 201420295835.X
• 申請日: 2014-06-05
• 公開（公告）號: CN203906330U
• 公開（公告）日: 2014-10-29
• 發明（設計）人: 劉巍;韓莉果;郭子學;龐志瑩
• 申請（專利權）人: 核工業理化工程研究院
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04;F04D27/00
• 代理公司: 天津市宗欣專利商標代理有限公司 12103
• 代理人: 胡恩河

1.一種可測壓比的嵌入式分子泵，包括殼體（1），在殼體（1）內安裝有轉子（2），在殼體（1）的頂部設置有端面法蘭（3），其特征在于：在殼體（1）和轉子（2）之間設置有第一級分子泵（4），第一級分子泵（4）頂部過盈連接盤狀第三級分子泵（6），在第三級分子泵（6）的裝配槽（23）中過盈連接第二級分子泵（5），端面法蘭（3）和第三級分子泵（6）螺釘連接，在殼體（1）的下部外側設置有入口測壓裝置（7），在端面法蘭（3）的頂端分別連接有第一級分子泵出口測壓裝置（8）、第二級出口測壓裝置（9）和第三級出口測壓裝置（10）。

2.根據權利要求1所述的一種可測壓比的嵌入式分子泵，其特征在于：在所述的端面法蘭（3）上沿圓周形成均布的第一級測壓連接孔（11）、第二級測壓連接孔（12）和第三級測壓連接孔（13），在上述連接孔的兩側形成螺孔（14）。

3.根據權利要求1所述的一種可測壓比的嵌入式分子泵，其特征在于：所述的第一級分子泵（4）為圓筒形，在圓形內壁形成螺旋導氣槽，且呈右旋狀態，螺旋導氣槽截面呈“U”型槽（33），在第一級分子泵（4）的頂端一側形成異徑孔狀的第一級引壓孔（15）。

4.根據權利要求1所述的一種可測壓比的嵌入式分子泵，其特征在于：所述的第二級分子泵（5）為圓盤形，在其下端面形成多個沿圓周均布的槽壁（16）和抽氣槽（17）、并相間分布，在其圓周的外側形成三個均布的第二級外圓豁口（18），在其圓周的內側形成第二級內圓豁口（19）。

5.根據權利要求1所述的一種可測壓比的嵌入式分子泵，其特征在于：所述的第三級分子泵（6）為厚壁圓筒形，在其下部形成圓環形的裝配槽（23），在其中間形成中心通孔（24），在中心通孔（24）的內壁形成螺旋導氣槽，且呈右旋狀態，螺旋導氣槽截面呈“U”型槽（33），其下端面形成多個沿圓周均布的槽壁（16）和抽氣槽（17）、并相間分布，在裝配槽（23）內沿圓周形成均布的三個通孔（27）。

6.根據權利要求1所述的一種可測壓比的嵌入式分子泵，其特征在于：第二級分子泵（5）上的槽壁（16）和第三級分子泵（6）上的槽壁（16）呈連續的放射狀弧線、并互相對齊；第二級分子泵（5）上的抽氣槽（17）和第三級分子泵（6）上的抽氣槽（17）的槽型均為變寬度的矩形槽（34）、呈連續的放射狀弧線、并互相對齊。

7.根據權利要求1所述的一種可測壓比的嵌入式分子泵，其特征在于：所述的第一級分子泵出口測壓裝置（8）、第二級出口測壓裝置（9）和第三級出口測壓裝置（10）結構相同，均由固定法蘭（42）、連接管（44）和真空計底座（45）組成。