[實用新型]一種嵌入裝置內部的牽引式分子泵

有效

• 申請號: 201420295833.0
• 申請日: 2014-06-05
• 公開（公告）號: CN203906329U
• 公開（公告）日: 2014-10-29
• 發明（設計）人: 劉巍;郭子學;韓莉果;龐志瑩
• 申請（專利權）人: 核工業理化工程研究院
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04;F04D29/64
• 代理公司: 天津市宗欣專利商標代理有限公司 12103
• 代理人: 胡恩河

技術領域

本實用新型屬于分子泵領域，具體涉及一種嵌入裝置內部的牽引式分子泵。

背景技術

目前已廣泛應用的分子泵雖然具有良好的高真空和超高真空性能，但由于其工作原理和泵結構限制，導致其只能與待抽空設備通過管道或法蘭相串聯，而無法直接鑲嵌在裝置中使用。例如，通常狀況下若要使某種轉動部件高速旋轉時，往往需要對其周圍進行抽真空處理，以保證其轉動時處于一個良好的真空環境進而降低摩擦功耗和因摩擦而產生的熱量。然而，若要使此轉動部件在高轉速下工作時，僅靠外界的抽空裝置對其進行抽空則根本無法滿足要求，因此需要設計一套可以直接鑲嵌在裝置內的分子泵系統對其進行抽空處理。

實用新型內容

本實用新型是為了克服現有技術中存在的缺點而提出的，其目的是提供一種嵌入裝置內部的牽引式分子泵。

本實用新型的技術方案是：

一種嵌入裝置內部的牽引式分子泵，包括內部安裝有圓柱型轉子的外殼，還包括與轉子同軸的中空的圓筒狀第一級分子泵，第一級分子泵處于轉子側立面與外殼內壁之間，第一級分子泵內壁形成螺旋抽氣槽；與第一級分子泵過盈連接的第三級分子泵上端面形成上環形凸緣，下端面形成多個抽氣槽，中間形成中心通孔，中心通孔的內壁形成螺旋抽氣槽，第三級分子泵的下部形成圓環形裝配槽，裝配槽上方均布有用于將第三級分子泵與端面法蘭連接的多個螺釘孔，第三級分子泵外壁形成有下環形凸緣；與第三級分子泵中裝配槽過盈配合的圓環形第二級分子泵下端面形成多個抽氣槽，第二級分子泵的邊緣形成與螺釘孔相對應的多個凹槽。

所述螺旋抽氣槽截面呈U型，且呈右旋狀態。

所述上環形凸緣與端面法蘭下部形成的環形凹槽相配合。

所述第二級分子泵下端面形成的抽氣槽與第三級分子泵下端面形成抽氣槽相對齊。

所述多個抽氣槽按環形均布，其槽型為變寬度的矩形。

所述轉子以逆時針方向轉動。

本實用新型的有益效果是：

本實用新型具有加工成本低且易加工安裝的特點；且本實用新型充分地利用了轉子自身高速旋轉的特點，可以在不進一步提高外界抽空能力的條件下使裝置內的壓強達到10^-3Pa的狀態；第二級分子泵與第三級分子泵屬于分體式，因而可降低加工難度；第二級分子泵上設有三個可供螺釘穿入的開口，因此不會影響第三級分子泵與端面法蘭的正常安裝與連接；第二級分子泵與第三級分子泵之間采用過盈配合式連接，所以減少了抽氣槽中的螺釘等零部件，繼而最大程度地保證了抽氣槽的過流面積。

附圖說明

圖1是本實用新型一種嵌入裝置內部的牽引式分子泵的結構示意圖；

圖2是圖1未安裝轉子時的A-A面剖視圖；

圖3是本實用新型中第一級分子泵的結構示意圖；

圖4是本實用新型中第三級分子泵的結構示意圖；

圖5是圖3和圖4中沿B-B線的剖面圖;

圖6是本實用新型中第二級分子泵的結構示意圖；

圖7是第三級分子泵C向結構示意圖；

圖8是圖6和圖7中沿D-D線的剖面圖。

其中：

1??轉子??????????????????2??外殼

3??第一級分子泵??????????4??第二級分子泵

5??第三級分子泵??????????6??端面法蘭

7??螺旋抽氣槽????????????8??上環形凸緣

9??抽氣槽???????????????10??中心通孔

11??裝配槽???????????????12??螺釘孔

13??凹槽?????????????????14??下環形凸緣

15??螺釘。

具體實施方式

下面結合實施例及附圖對本實用新型一種嵌入裝置內部的牽引式分子泵進行詳細說明：