[實用新型]一種嵌入裝置內部的牽引式分子泵

有效

• 申請號: 201420295833.0
• 申請日: 2014-06-05
• 公開（公告）號: CN203906329U
• 公開（公告）日: 2014-10-29
• 發明（設計）人: 劉巍;郭子學;韓莉果;龐志瑩
• 申請（專利權）人: 核工業理化工程研究院
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04;F04D29/64
• 代理公司: 天津市宗欣專利商標代理有限公司 12103
• 代理人: 胡恩河

1.一種嵌入裝置內部的牽引式分子泵，包括內部安裝有圓柱型轉子（1）的外殼（2），其特征在于：還包括與轉子（1）同軸的中空的圓筒狀第一級分子泵（3），第一級分子泵（3）處于轉子（1）側立面與外殼（2）內壁之間，第一級分子泵（3）內壁形成螺旋抽氣槽（7）；與第一級分子泵（3）過盈連接的第三級分子泵（5）上端面形成上環形凸緣（8），下端面形成多個抽氣槽（9），中間形成中心通孔（10），中心通孔（10）的內壁形成螺旋抽氣槽（7），第三級分子泵（5）的下部形成圓環形裝配槽（11），裝配槽（11）上方均布有用于將第三級分子泵（5）與端面法蘭（6）連接的多個螺釘孔（12），第三級分子泵（5）外壁形成有下環形凸緣（14）；與第三級分子泵（5）中裝配槽（11）過盈配合的圓環形第二級分子泵（4）下端面形成多個抽氣槽（9），第二級分子泵（4）的邊緣形成與螺釘孔（12）相對應的多個凹槽（13）。

2.根據權利要求1所述的一種嵌入裝置內部的牽引式分子泵，其特征在于：所述螺旋抽氣槽（7）截面呈U型，且呈右旋狀態。

3.根據權利要求1所述的一種嵌入裝置內部的牽引式分子泵，其特征在于：所述上環形凸緣（8）與端面法蘭（6）下部形成的環形凹槽相配合。

4.根據權利要求1所述的一種嵌入裝置內部的牽引式分子泵，其特征在于：所述第二級分子泵（4）下端面形成的抽氣槽（9）與第三級分子泵（5）下端面形成抽氣槽（9）相對齊。

5.根據權利要求1所述的一種嵌入裝置內部的牽引式分子泵，其特征在于：所述多個抽氣槽（9）按環形均布，其槽型為變寬度的矩形。

6.根據權利要求1所述的一種嵌入裝置內部的牽引式分子泵，其特征在于：所述轉子（1）以逆時針方向轉動。