[實用新型]一種可測轉子表面溫度的牽引式分子泵

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420295813.3
• 申請日: 2014-06-05
• 公開（公告）號: CN203906328U
• 公開（公告）日: 2014-10-29
• 發(fā)明（設計）人: 劉巍;周勃;韓莉果;王春巖
• 申請（專利權）人: 核工業(yè)理化工程研究院
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04;F04D27/00
• 代理公司: 天津市宗欣專利商標代理有限公司 12103
• 代理人: 胡恩河

技術領域

本實用新型屬于一種牽引式分子泵，具體涉及一種可測轉子表面溫度的牽引式分子泵。

背景技術

牽引分子泵是依靠氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得動量，從而將氣體分子驅送到泵的出口。牽引式分子泵轉子表面溫度的變化情況能夠直觀地反應出該裝置的實時工作狀態(tài)和有關性能，因此溫度的實時監(jiān)控在該裝置的研制過程中具有十分重要的意義。當轉子以高轉速尤其是超高轉速進行轉動時，轉子自身會發(fā)生形變，然而轉子表面的溫度實時測量是十分困難的，并且分子泵自身的結構也較為緊湊無法隨意加裝測溫裝置，因此，如何實時監(jiān)測分子泵中轉子表面的溫度是該領域的一個難題。

發(fā)明內容

本實用新型為解決牽引式分子泵中轉子表面的溫度無法實時監(jiān)測這一問題而提出，其目的是提供一種可測轉子表面溫度的牽引式分子泵。

本實用新型的技術方案是：一種可測轉子表面溫度的牽引式分子泵，包括圓筒形外殼，在外殼內部設置有圓柱形轉子，在所述的外殼內部、轉子外圍、且與轉子同軸設置有第一級分子泵，與第一級分子泵過盈連接的第三級分子泵，第三級分子泵與端面法蘭連接，第二級分子泵固定在第三級分子泵的裝配槽中，第一級分子泵為圓筒形，在圓形內壁形成螺旋導氣槽，第二級分子泵為圓盤形，在其下端面形成多個沿圓周均布的第二級槽壁B段和第二級抽氣槽B段、并相間分布；第三級分子泵為厚壁圓筒形、在其下部形成圓環(huán)形的裝配槽，在其中間形成中心通孔，中心通孔的內壁形成螺旋導氣槽，在其下端面形成多個沿圓周均布的第二級抽氣槽A段和第二級槽壁A段、并相間分布；紅外探頭安裝在第三級紅外探頭孔中，其測溫導線依次通過第三級分子泵線槽、端面法蘭線槽與固定在端面法蘭中的端面測溫裝置相連，端面測溫裝置固定在測溫裝置安裝孔中，徑向測溫裝置的測量端穿過外殼、靠近第一級分子泵的外壁。

所述的第二級抽氣槽A段和第二級抽氣槽B段呈連續(xù)的放射狀弧線、并互相對齊，第二級槽壁A段和第二級槽壁B段呈連續(xù)的放射狀弧線、并互相對齊。

所述的螺旋導氣槽截面呈“U”型、且呈右旋狀態(tài)，所述的第二級抽氣槽A段、第二級抽氣槽B段的槽型均為變寬度的矩形、并互相對齊。

本實用新型的第二級分子泵和第三級分子泵的可拆裝結構，可以保證在分子泵正常運行的情況下，調試和安裝端面測溫裝置，徑向測溫裝置有大范圍的軸向選擇空間。測溫時，轉子既可以處于靜止狀態(tài)、也可以處于轉動狀態(tài)，操作方便。

附圖說明

圖1?是本實用新型的主視圖；

圖2?是本實用新型的俯視圖；

圖3?是本實用新型的端面法蘭與各級分子泵安裝位置示意圖；

圖4?是圖1中未安裝轉子、第二級分子泵和外殼時的A向視圖；

圖5?是圖1中未安裝轉子時的沿B-B線視圖；

圖6?是本實用新型的第三級分子泵的主視圖；

圖7?是本實用新型的第三級分子泵仰視圖；

圖8?是本實用新型的第三級分子泵俯視圖；

圖9?是本實用新型的第二級分子泵的仰視圖；

圖10?是本實用新型的第二級分子泵的俯視圖；

圖11?是圖3、6中沿C-C線視圖；

圖12?是圖7、9中沿D-D線視圖。

其中：

1??第一級分子泵?????????2??第三級分子泵

3??端面法蘭?????????????4??端面測溫裝置

5??徑向測溫裝置?????????6??定位法蘭

7??第二級分子泵?????????8??轉子

9??外殼?????????????????10?端面法蘭螺釘

11?定位法蘭螺釘?????????12?第二級分子泵螺釘

13?第二分子泵螺紋孔?????14?定位法蘭螺紋孔

15?第三級紅外探頭孔?????16?第三級分子泵固定孔

17?第二級槽壁A段???????18第二級抽氣槽A段

19?第三級分子泵線槽?????20?第二級分子泵固定孔

21第二級槽壁B段????????22第二級抽氣槽B段

23?第二級紅外探頭孔?????24?第二級分子泵支撐底座

25?端面法蘭線槽?????????26?端面法蘭螺紋孔

27?測溫裝置安裝孔???????28?裝配槽

29?紅外探頭?????????????30?螺旋導氣槽

31?中心孔???????????????32?上環(huán)形凸緣