[實用新型]一種可測轉子表面溫度的牽引式分子泵

有效

• 申請號: 201420295813.3
• 申請日: 2014-06-05
• 公開（公告）號: CN203906328U
• 公開（公告）日: 2014-10-29
• 發明（設計）人: 劉巍;周勃;韓莉果;王春巖
• 申請（專利權）人: 核工業理化工程研究院
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04;F04D27/00
• 代理公司: 天津市宗欣專利商標代理有限公司 12103
• 代理人: 胡恩河

1.一種可測轉子表面溫度的牽引式分子泵，包括圓筒形外殼（9），在外殼（9）內部設置有圓柱形轉子（8），其特征在于：在所述的外殼（9）內部、轉子（8）外圍、且與轉子（8）同軸設置有第一級分子泵（1），與第一級分子泵（1）過盈連接的第三級分子泵（2），第三級分子泵（2）與端面法蘭（3）連接，第二級分子泵（7）固定在第三級分子泵（2）的裝配槽（28）中，第一級分子泵（1）為圓筒形，在圓形內壁形成螺旋導氣槽（30），第二級分子泵（7）為圓盤形，在其下端面形成多個沿圓周均布的第二級槽壁B段（21）和第二級抽氣槽B段（22）、并相間分布；第三級分子泵（2）為厚壁圓筒形、在其下部形成圓環形的裝配槽（28），在其中間形成中心通孔（31），中心通孔（31）的內壁形成螺旋導氣槽（30），在其下端面形成多個沿圓周均布的第二級抽氣槽A段（18）和第二級槽壁A段（17）、并相間分布；紅外探頭（29）安裝在第三級紅外探頭孔（15）中，其測溫導線依次通過第三級分子泵線槽（19）、端面法蘭線槽（25）與固定在端面法蘭（3）中的端面測溫裝置（4）相連，端面測溫裝置（4）固定在測溫裝置安裝孔（27）中，徑向測溫裝置（5）的測量端穿過外殼（9）、靠近第一級分子泵（1）的外壁。

2.根據權利要求1所述的一種可測轉子表面溫度的牽引式分子泵，其特征在于：所述的第二級抽氣槽A段（18）和第二級抽氣槽B段（22）呈連續的放射狀弧線、并互相對齊，第二級槽壁A段（17）和第二級槽壁B段（21）呈連續的放射狀弧線、并互相對齊。

3.根據權利要求1所述的一種可測轉子表面溫度的牽引式分子泵，其特征在于：所述的螺旋導氣槽（30）截面呈“U”型、且呈右旋狀態，所述的第二級抽氣槽A段（18）、第二級抽氣槽B段（22）的槽型均為變寬度的矩形、并互相對齊。