[實用新型]翻轉機控制電路和晶圓翻轉系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420291258.7
• 申請日: 2014-06-03
• 公開（公告）號: CN203894595U
• 公開（公告）日: 2014-10-22
• 發(fā)明（設計）人: 張偉;肖方;倪堯;潘建偉
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: G05B19/18
• 分類號: G05B19/18
• 代理公司: 上海思微知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及半導體制造領域，尤其涉及一種翻轉機控制電路和晶圓翻轉系統(tǒng)。

背景技術

半導體行業(yè)中，翻轉機(Roller)用于整批翻轉晶圓以及傳輸晶圓。翻轉機內部設有一機械手臂(Robot?Arm)，機械手臂用于抓取晶圓，在相應的翻轉位置處可以將晶圓翻轉與水平線呈成不同的角度，例如90度、180度或者270度。

現(xiàn)有技術中，翻轉機設有4個翻轉位置，分別是0度、90度、180度以及270度；在翻轉機處于0度位置時，晶圓能夠通過機械手臂裝載在所述翻轉機內部或者由機械手臂將晶圓從翻轉機內卸載至晶圓盒之中，并不對晶圓進行角度的翻轉。若需要對晶圓進行翻轉，那么翻轉機必須位于90度、180度或者270度的翻轉位置時，才能對晶圓進行相應的角度翻轉。翻轉機內部設有控制電路，控制電路用于發(fā)出控制信號，翻轉機在得到相應的控制信號時，會在相應的翻轉位置處進行相應的翻轉動作，例如在90度的翻轉位置處，翻轉機得到第一次控制信號時，翻轉機會通過機械手臂將晶圓從0度翻轉至90度，在180度的翻轉位置處，在翻轉機得到第二次控制信號時，翻轉機會通過機械手臂將晶圓從90度翻轉至180度，以此類推。

當翻轉機內部出現(xiàn)異常，翻轉機的機械手臂可能位于翻轉機除以上四個翻轉位置的其他任何位置處(非翻轉位置)，或者控制電路無法確認翻轉機機械手臂的具體位置時，此時若翻轉機得到控制信號，則會導致晶圓在非翻轉位置處進行翻轉，從而致使晶圓從機械手臂上脫落，造成晶圓的損傷，甚至報廢。

然而，現(xiàn)有技術中的翻轉機控制信號是由控制電路發(fā)出24V直流電壓信號作為控制信號。因此，只要控制電路發(fā)出控制信號，翻轉機得到相應的電壓信號，因此翻轉機不管晶圓是否處于正確的翻轉位置(例如90度、180度或270度)其均會自動進行翻轉，那么此時的控制信號將會導致晶圓從機械手臂上脫落，進而會導致晶圓的損傷和報廢，存在極大的風險。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種翻轉機控制電路和晶圓翻轉系統(tǒng)，能夠確保翻轉機在晶圓處于非翻轉位置時即便是獲得控制信號也不會進行翻轉，進而保護晶圓。

為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型提出了一種翻轉機控制電路，所述翻轉機控制電路包括：多個接近開關、常開控制繼電器和回路，所述多個接近開關并聯(lián)且分別位于翻轉機的多個翻轉位置處，所述常開控制繼電器串聯(lián)于所述回路中，所述接近開關與所述常開控制繼電器相連。

可選的，在所述的翻轉機控制電路中，所述回路包括一信號繼電器，所述信號繼電器與所述常開控制繼電器串聯(lián)。

可選的，在所述的翻轉機控制電路中，所述接近開關的個數(shù)為4個。

本實用新型還提出了一種晶圓翻轉系統(tǒng)，所述晶圓翻轉系統(tǒng)包括：翻轉機以及如上文任意一項所述的翻轉機控制電路。

可選的，在所述的晶圓翻轉系統(tǒng)中，所述翻轉機系統(tǒng)還包括一翻轉馬達，所述翻轉馬達位于所述翻轉機的內部。

可選的，在所述的晶圓翻轉系統(tǒng)中，所述翻轉機系統(tǒng)還包括一剎車裝置，所述剎車裝置位于所述翻轉機的內部并與所述翻轉馬達相連。

可選的，在所述的晶圓翻轉系統(tǒng)中，所述剎車裝置與所述回路通過信號線進行信號連接。

可選的，在所述的晶圓翻轉系統(tǒng)中，所述翻轉位置和接近開關的個數(shù)均為四個。

與現(xiàn)有技術相比，本實用新型的有益效果主要體現(xiàn)在：在控制翻轉的回路中添加一常開控制繼電器，并在翻轉機內部多個翻轉位置處安裝多個接近開關，接近開關相互之間并聯(lián)并與常開控制繼電器相連，當翻轉機內部的晶圓位于其中一個翻轉位置時，則接近開關會導通，使常開控制繼電器導通，從而控制回路才導通，此時當控制信號由翻轉機的控制電路發(fā)出時，翻轉機才能夠進行翻轉；若翻轉機內部的晶圓不處于翻轉位置時，回路無法導通，此時即便控制信號由翻轉機發(fā)出，回路翻轉機也不會進行翻轉，這樣便能夠避免晶圓處于非翻轉位置時控制信號控制翻轉機翻轉，從而避免晶圓脫落造成損傷甚至造成報廢。

附圖說明

圖1為本實用新型一實施例中晶圓翻轉系統(tǒng)的結構示意圖。

具體實施方式

下面將結合示意圖對本實用新型的翻轉機控制電路和晶圓翻轉系統(tǒng)進行更詳細的描述，其中表示了本實用新型的優(yōu)選實施例，應該理解本領域技術人員可以修改在此描述的本實用新型，而仍然實現(xiàn)本實用新型的有利效果。因此，下列描述應當被理解為對于本領域技術人員的廣泛知道，而并不作為對本實用新型的限制。