[實用新型]翻轉機控制電路和晶圓翻轉系統有效
| 申請號： | 201420291258.7 | 申請日： | 2014-06-03 |
| 公開（公告）號： | CN203894595U | 公開（公告）日： | 2014-10-22 |
| 發明（設計）人： | 張偉;肖方;倪堯;潘建偉 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司 |
| 主分類號： | G05B19/18 | 分類號： | G05B19/18 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 100176 北京市大興區*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 轉機 控制電路 翻轉 系統 | ||
【權利要求書】：
1.一種翻轉機控制電路，其特征在于，所述翻轉機控制電路包括：多個接近開關、常開控制繼電器和回路，所述多個接近開關并聯且分別位于翻轉機的多個翻轉位置處，所述常開控制繼電器串聯于所述回路中，所述接近開關與所述常開控制繼電器相連。
2.如權利要求1所述的翻轉機控制電路，其特征在于，所述回路包括一信號繼電器，所述信號繼電器與所述常開控制繼電器串聯。
3.如權利要求1所述的翻轉機控制電路，其特征在于，所述接近開關的個數為4個。
4.一種晶圓翻轉系統，其特征在于，所述晶圓翻轉系統包括：翻轉機以及如權利要求1至3任意一項所述的翻轉機控制電路。
5.如權利要求4所述的晶圓翻轉系統，其特征在于，所述翻轉機系統還包括一翻轉馬達，所述翻轉馬達位于所述翻轉機的內部。
6.如權利要求5所述的晶圓翻轉系統，其特征在于，所述翻轉機系統還包括一剎車裝置，所述剎車裝置位于所述翻轉機的內部并與所述翻轉馬達相連。
7.如權利要求6所述的晶圓翻轉系統，其特征在于，所述剎車裝置與所述回路通過信號線進行信號連接。
8.如權利要求4所述的晶圓翻轉系統，其特征在于，所述翻轉位置和接近開關的個數均為四個。
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