[實用新型]生長在Ag襯底上的LED外延片有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201420288968.4 | 申請日: | 2014-05-30 |
| 公開(公告)號: | CN203895486U | 公開(公告)日: | 2014-10-22 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 李國強 | 申請(專利權(quán))人: | 廣州市眾拓光電科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L33/06 | 分類號: | H01L33/06;H01L33/12 |
| 代理公司: | 廣州市越秀區(qū)哲力專利商標事務(wù)所(普通合伙) 44288 | 代理人: | 湯喜友 |
| 地址: | 510000 廣東省廣州市廣州*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 生長 ag 襯底 led 外延 | ||
1.生長在Ag襯底上的LED外延片,其特征在于,包括Ag襯底、AlN緩沖層、U-GaN薄膜層、N-GaN薄膜層、InGaN/GaN多量子阱層和P-GaN薄膜,所述AlN緩沖層、U-GaN薄膜層、N-GaN薄膜層、InGaN/GaN多量子阱層和P-GaN薄膜依次生長在Ag襯底上。
2.如權(quán)利要求1所述的生長在Ag襯底上的LED外延片,其特征在于,所述Ag襯底以(111)晶面為外延面,晶體外延取向關(guān)系為AlN[11-20]//Ag[1-10]。
3.如權(quán)利要求1或2所述的生長在Ag襯底上的LED外延片,其特征在于,所述AlN緩沖層厚度為100nm;所述U-GaN薄膜層厚度為200-350nm;所述N-GaN薄膜層厚度為4000-5000nm;所述InGaN/GaN多量子阱層中,InGaN阱層厚度為3-5nm,GaN壘層厚度為10-15nm,周期數(shù)為5-10;所述P-GaN薄膜厚度為300-400nm。
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