[實用新型]一種多晶硅還原爐硅芯夾持裝置有效
| 申請號: | 201420275408.5 | 申請日: | 2014-05-27 |
| 公開(公告)號: | CN203922735U | 公開(公告)日: | 2014-11-05 |
| 發明(設計)人: | 田清明;王惠 | 申請(專利權)人: | 新特能源股份有限公司 |
| 主分類號: | C01B33/03 | 分類號: | C01B33/03 |
| 代理公司: | 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112 | 代理人: | 羅建民;鄧伯英 |
| 地址: | 830011 新疆維吾爾自治區烏魯木齊國*** | 國省代碼: | 新疆;65 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 多晶 還原 爐硅芯 夾持 裝置 | ||
1.一種多晶硅還原爐硅芯夾持裝置,包括:卡帽和能夠夾持硅芯的根部的卡瓣,卡帽與卡瓣卡接,其特征在于,所述裝置還包括能夠在硅芯生長過程中支撐硅芯并能將氣流輸送至硅芯的根部的支撐部件,所述支撐部件設置于卡帽的上表面。
2.如權利要求1所述的多晶硅還原爐硅芯夾持裝置,其特征在于,所述支撐部件包括多個凸臺,所述凸臺對稱設置于所述卡瓣的外周,每兩個凸臺之間形成凹槽。
3.如權利要求2所述的多晶硅還原爐硅芯夾持裝置,其特征在于,所述凸臺呈十字形或一字形設置于所述卡瓣的外周。
4.如權利要求2所述的多晶硅還原爐硅芯夾持裝置,其特征在于,所述凸臺的上表面低于所述卡瓣的頂端。
5.如權利要求4所述的多晶硅還原爐硅芯夾持裝置,其特征在于,所述凸臺的上表面比所述卡瓣的頂端低15-20mm。
6.如權利要求4所述的多晶硅還原爐硅芯夾持裝置,其特征在于,所述凸臺的高度為20-28mm。
7.如權利要求1-6任一項所述的多晶硅還原爐硅芯夾持裝置,其特征在于,所述卡帽與卡瓣卡接,并形成容置空間;
所述裝置還包括底座,底座與所述卡帽螺紋連接,并容置于所述容置空間中,底座的上表面與卡瓣的下表面接觸。
8.如權利要求7所述的多晶硅還原爐硅芯夾持裝置,其特征在于,所述卡帽的側壁上設置有用于連通所述容置空間和外部空氣的通孔。
9.如權利要求1所述的多晶硅還原爐硅芯夾持裝置,其特征在于,所述支撐部件包括一個環狀的凸臺,該環狀的凸臺設置于卡瓣的外周。
10.如權利要求9所述的多晶硅還原爐硅芯夾持裝置,其特征在于,在所述環狀的凸臺上設置有多個能夠將氣流輸送至硅芯的根部的穿孔。
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