[實(shí)用新型]去PSG機(jī)配酸系統(tǒng)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201420269990.4 | 申請(qǐng)日: | 2014-05-26 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN203950786U | 公開(kāi)(公告)日: | 2014-11-19 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 張軍虎;周天賢;曹允波 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 江陰鑫輝太陽(yáng)能有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào): | H01L21/67 | 分類(lèi)號(hào): | H01L21/67 |
| 代理公司: | 江陰市同盛專(zhuān)利事務(wù)所(普通合伙) 32210 | 代理人: | 唐紉蘭;曾丹 |
| 地址: | 214426 江*** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | psg 機(jī)配酸 系統(tǒng) | ||
1.一種去PSG機(jī)配酸系統(tǒng),它包括供酸罐(1),供酸罐(1)上引出供酸總管(2),供酸總管(2)上分出四根供酸支管(4),其特征在于供酸支管(4)的末端通往恒壓桶(5)的進(jìn)液口,恒壓桶(5)的外側(cè)引出一根恒壓檢測(cè)管(6),恒壓檢測(cè)管(6)的上端以及下端分別連接恒壓桶(5)的上段以及下段,恒壓檢測(cè)管(6)上從下至上依次設(shè)置有低液位傳感器(6.1)、中液位傳感器(6.2)、高液位傳感器(6.3)以及超高液位傳感器(6.4),恒壓桶(5)的出液口通過(guò)進(jìn)酸管(7)連接去PSG機(jī)(8)上的配酸槽(9)的進(jìn)液口,所述供酸支管(4)上設(shè)置有第一氣動(dòng)閥(10),所述進(jìn)酸管(7)上設(shè)置有第二氣動(dòng)閥(11)。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類(lèi)目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專(zhuān)門(mén)適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專(zhuān)門(mén)適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專(zhuān)門(mén)適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專(zhuān)門(mén)適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





