[實用新型]去PSG機配酸系統

有效

• 申請號: 201420269990.4
• 申請日: 2014-05-26
• 公開（公告）號: CN203950786U
• 公開（公告）日: 2014-11-19
• 發明（設計）人: 張軍虎;周天賢;曹允波
• 申請（專利權）人: 江陰鑫輝太陽能有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 江陰市同盛專利事務所(普通合伙) 32210
• 代理人: 唐紉蘭;曾丹

技術領域

本實用新型涉及一種去PSG機配酸系統。?

背景技術

PSG（Phospho?Silicate?Glass）是磷硅玻璃的意思，在太陽能電池片的擴散工藝后，硅片表面會形成一層PSG，必須去除。所謂的PSG，通過氫氟酸溶液洗去。一般的去PSG機在使用時需要在其配酸槽內進行配酸。?

由于初期裝機時，動力提供給去PSG機，去PSG機配酸系統的供酸總管和供酸支管一樣粗細，在配酸時，正常需要加酸3次，前2次因恒壓桶內算量足，加酸沒有問題，第3次加酸時，可能存在低液位加酸，恒壓桶出酸量小于進酸量，導致最后加酸的實際量偏少配酸濃度降低，影響去PSG機的工作質量。?

發明內容

本實用新型的目的在于克服上述不足，提供一種能夠保證去PSG機進酸量準確，保證產品質量的去PSG機配酸系統。?

本實用新型的目的是這樣實現的：?

一種去PSG機配酸系統，它包括供酸罐，供酸罐上引出供酸總管，供酸總管上分出四根供酸支管，供酸支管的末端通往恒壓桶的進液口，恒壓桶的外側引出一根恒壓檢測管，恒壓檢測管的上端以及下端分別連接恒壓桶的上段以及下段，恒壓檢測管上從下至上依次設置有低液位傳感器、中液位傳感器、高液位傳感器以及超高液位傳感器，恒壓桶的出液口通過進酸管連接去PSG機上的配酸槽的進液口，所述供酸支管上設置有第一氣動閥，所述進酸管上設置有第二氣動閥。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：?

本實用新型去PSG機配酸系統具有能夠保證去PSG機進酸量準確，保證產品質量的優點。

附圖說明

圖1為本實用新型去PSG機配酸系統的結構示意圖。?

圖2為本實用新型去PSG機配酸系統的供酸支管上的結構示意圖。?

圖3為本實用新型去PSG機配酸系統的恒壓桶的結構示意圖。?

其中：?

供酸罐1

供酸總管2

輸送泵3

供酸支管4

恒壓桶5

恒壓檢測管6、低液位傳感器6.1、中液位傳感器6.2、高液位傳感器6.3、超高液位傳感器6.4

進酸管7

去PSG機8

配酸槽9

第一氣動閥10

第二氣動閥11。。

具體實施方式

參見圖1~圖3，本實用新型涉及的一種去PSG機配酸系統，它包括供酸罐1，供酸罐1上引出供酸總管2，供酸總管2上設置有輸送泵3，供酸總管2上分出四根供酸支管4，供酸支管4的末端通往恒壓桶5的進液口，恒壓桶5的外側引出一根恒壓檢測管6，恒壓檢測管6的上端以及下端分別連接恒壓桶5的上段以及下段，恒壓檢測管6上從下至上依次設置有低液位傳感器6.1、中液位傳感器6.2、高液位傳感器6.3以及超高液位傳感器6.4，總計四個液位感應器，恒壓桶5的出液口通過進酸管7連接去PSG機8上的配酸槽9的進液口。所述供酸支管4上設置有第一氣動閥10，所述進酸管7上設置有第二氣動閥11。?

恒壓檢測管6有四個液位傳感器，低液位傳感器6.1、中液位傳感器6.2、高液位傳感器6.3以及超高液位傳感器6.4。四個液位感應器的信號傳送至PLC，PLC可以控制兩個氣動閥的開合，將PLC程序修改成恒壓桶內酸量必須滿足恒壓檢測管在中液位，才能開啟加酸。簡單的講，就是液位低于中液位就打開第一氣動閥給恒壓桶補酸，到達高液位停止補酸，恒壓檢測管液位一直停留在中液位和高液位中間。在配酸時，恒壓檢測管沒有到達中液位時，點擊加酸按鈕，無法開啟第二氣動閥，直到恒壓檢測管到達中液位后，點擊加酸按鈕才有效，此方法杜絕，由恒壓檢測管內酸量少引起的加酸不足而導致清洗后有小白點異常。?

根據目前去PSG機配酸狀況，白點和水紋印率為4.5%，通過本實用新型的改進可以排除因機臺加酸不足導致白點和水紋印的不良降到0。?