[實用新型]一種用于半導體濕法清洗的裝置

有效

• 申請號: 201420269354.1
• 申請日: 2014-05-23
• 公開（公告）號: CN203932013U
• 公開（公告）日: 2014-11-05
• 發明（設計）人: 萬林林;雷述宇
• 申請（專利權）人: 北方廣微科技有限公司
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02
• 代理公司: 北京漢昊知識產權代理事務所(普通合伙) 11370
• 代理人: 朱海波

技術領域

本實用新型涉及節能環保型裝置，特別是涉及一種用于半導體濕法清洗的裝置。

背景技術

現有濕法清洗所使用的有機化學液槽為靜態316L不銹鋼槽，可以同時容納兩個6英寸花籃進行作業。此有機化學液槽可以進行5面加熱，控溫范圍為室溫到100℃，控溫精度為±1℃，其中丙酮槽可以進行超聲波清洗，頻率范圍為40-270KHZ，基本滿足現有工藝生產所需。

現有濕法清洗所使用的有機化學液包括EKC270、異丙醇(IPA)、丙酮(Acetone)三種，根據現有工藝要求更換周期為5天，每次更換有機化學液所需的使用量分別為：EKC 7瓶，每瓶1gallon，共計7gallon；異丙醇14瓶，每瓶4升，共計56升；丙酮7瓶，每瓶4升，共計28升。

鑒于目前濕法清洗的現狀，有機化學液使用量大，周期長，無法進行化學液循環的條件下，在現有設備的基礎上進行改造，使改造后的設備能夠在不改變化學液使用周期和化學特性的前提下減小化學液的使用量，已達到節約化學液使用成本的目的。

預計改造后每次換液時每個化學液槽所使用的化學液將最少減少1瓶的使用量，共計EKC2701瓶，異丙醇(IPA)2瓶，丙酮(Acetone)1瓶。每年累計換液約50次左右，共計可以節約EKC27050瓶，異丙醇(IPA)100瓶，丙酮(Acetone)50瓶。

隨著生產的繼續，節約的成本也越來越多。特別是到后期產量的增加勢必會導致化學液更換周期的縮短、有機化學液更換頻率的增加，節約的化學液也就越來越多。這種成本上的節約更能為公司的產品降低成本，提 高公司產品在市場上的競爭力，為公司獲得更多的利潤和效益。

實用新型內容

為實現上述目的，本實用新型提供了,

一種用于半導體濕法清洗的裝置，所述裝置包括底部支撐單元、花籃定位單元、有機化學液替代遮擋單元和氮氣鼓泡單元；

其中，所述底部支撐單元，用于花籃的支撐以及增加花籃與有機化學液槽底板之間的高度；

其中，所述花籃定位單元，通過螺釘與底部支撐單元連接在一起，以對花籃在有機化學液槽內的位置進行定位；

其中，所述有機化學液替代遮擋單元，通過定位桿與底部支撐單元結合在一起，以替代有機有機化學液體積；

其中，所述氮氣鼓泡單元，放置在底部支撐單元下面，以均勻有機化學液濃度。

所述底部支撐板所使用材料為長方形不銹鋼板，并在其上開有數個螺紋孔以及圓角方形孔。其中螺紋孔用于支撐支架和固定花籃定位單元；圓角方形孔用于氮氣鼓泡單元對有機化學液槽底部的有機有機化學液與上部進行濃度均衡使用，以及固定有機化學液替代遮擋單元。

所述花籃定位單元所使用材料為聚四氟乙烯，形狀為不規則長方體，并在其上開有數個圓孔。其作用在于固定花籃在有機化學液槽內的作業位置，以及通過這些圓孔均勻有機化學液的濃度。

所述有機化學液替代遮擋單元所使用材料為不銹鋼，形狀為其中兩對立面中間帶有通孔的密封立方體；附屬配件有兩種，一種是兩端帶有螺紋的不銹鋼實心桿，另外一種是配合不銹鋼實心桿使用的不銹鋼片。此單元的作用是替代有機化學液在有機化學液槽內的體積，以及防止不銹鋼立方體漂浮在有機化學液表面，進行影響作業中的產品。

所述氮氣鼓泡單元所用材料為不銹鋼管，形狀為“回”字型；在其中部分不銹鋼管上規則的打出一排小孔，這些小孔只打通單層管壁，不打通整 個不銹鋼管。此單元的作用為氮氣通過進氣口進入到不銹鋼管內，然后通過管壁上打出來的小孔噴出形成氣泡，這些氣泡通過底部支撐板上的圓角方形孔擴散到有機化學液內，由氣泡自身浮力運動到有機化學液表面，通過此過程以達到均勻化學液濃度的目的。

由上述技術方案可知，本實用新型裝置相對于現有其他類型支架的方案擁有全新的設計理念，既擁有固定作業花籃的作用又可以有效的減少化學液的使用量并且不會對現有工藝產生影響。從結構上看也非常簡單，只是單純的物理連接在一起，拆卸都非常方便。不管是只作業一個花籃或者兩個花籃同時作業都可以靈活方便的應用在有機化學液清洗槽中。

通過以下參照附圖對優選實施例的說明，本實用新型的上述以及其它目的、特征和優點將更加明顯。

附圖說明

圖1為本實用新型所需放置的有機化學液槽；

圖2為本實用新型的底部支撐單元；

圖3(a)和圖3(b)為本實用新型的花籃定位單元的兩種不同實施方式；