[實用新型]一種用于半導體濕法清洗的裝置

有效

• 申請號: 201420269354.1
• 申請日: 2014-05-23
• 公開（公告）號: CN203932013U
• 公開（公告）日: 2014-11-05
• 發明（設計）人: 萬林林;雷述宇
• 申請（專利權）人: 北方廣微科技有限公司
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02
• 代理公司: 北京漢昊知識產權代理事務所(普通合伙) 11370
• 代理人: 朱海波

1.一種用于半導體濕法清洗的裝置，所述裝置包括底部支撐單元、花籃定位單元、有機化學液替代遮擋單元和氮氣鼓泡單元；

其中，所述底部支撐單元，用于花籃的支撐以及增加花籃與有機化學液槽底板之間的高度；

其中，所述花籃定位單元，通過螺釘與底部支撐單元連接在一起，以對花籃在有機化學液槽內的位置進行定位；

其中，所述有機化學液替代遮擋單元，通過定位桿與底部支撐單元結合在一起，以替代有機有機化學液體積；

其中，所述氮氣鼓泡單元，放置在底部支撐單元下面，以均勻有機化學液濃度。

2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述底部支撐板所使用材料為長方形不銹鋼板，并在其上開有數個螺紋孔以及圓角方形孔；

其中，螺紋孔用于支撐支架和固定花籃定位單元；圓角方形孔用于氮氣鼓泡單元對有機化學液槽底部的有機有機化學液與上部進行濃度均衡使用，以及固定有機化學液替代遮擋單元。

3.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述花籃定位單元所使用材料為聚四氟乙烯，形狀為不規則長方體，并在其上開有數個圓孔；所述圓孔的作用在于固定花籃在有機化學液槽內的作業位置，以及通過這些圓孔均勻有機化學液的濃度。

4.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述有機化學液替代遮擋單元所使用材料為不銹鋼，形狀為其中兩對立面中間帶有通孔的密封立方體。

5.根據權利要求4所述的裝置，其特征在于，所述有機化學液替代遮擋單元的附屬配件包括：兩端帶有螺紋的不銹鋼實心桿，或配合不銹鋼實心桿使用的不銹鋼片。

6.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述氮氣鼓泡單元所用材料為不銹鋼管，形狀為“回”字型；其中，在部分不銹鋼管上規則的打出一排小孔，這些小孔只打通單層管壁，不打通整個不銹鋼管。