[實用新型]一種單工位硅拋光片載體盤冷卻清洗機

有效

• 申請號: 201420268829.5
• 申請日: 2014-05-26
• 公開（公告）號: CN203941889U
• 公開（公告）日: 2014-11-12
• 發明（設計）人: 牛海濤;范強;焦二強;李珩粉;張磊
• 申請（專利權）人: 洛陽單晶硅有限責任公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 洛陽明律專利代理事務所 41118
• 代理人: 盧洪方

技術領域

本實用新型屬于單晶硅片拋光生產技術領域，主要涉及一種單工位硅拋光片載體盤冷卻清洗機。

背景技術

目前，單晶硅拋光片生產主要采用有蠟拋光工藝，在硅片拋光前需將待拋光硅片按照一定的工藝標準，用蠟粘在高溫陶瓷載體盤上，載體盤經過冷卻降溫后進入下一道拋光工序。此工藝過程稱為“裝片”,由自動化的裝片成套設備來完成。裝片設備一般由預清洗、裝片、冷卻/淋洗三個部分組成，其中預清洗部分完成陶瓷載體盤的清洗工作，裝片部分完成陶瓷載體盤的加熱及將蠟均勻涂覆在陶瓷載體盤，冷卻/淋洗部分負責將粘好蠟的高溫陶瓷載體盤冷卻降溫。但現有技術中的冷卻/淋洗部分占用裝片設備四個工位，占用面積大，載體盤工位之間轉換耗時較長，員工操作也不十分方便。

實用新型內容

鑒于現有技術中所存在的問題，本實用新型設計了一種單工位硅拋光片載體盤冷卻清洗機，將冷卻、淋洗部分從裝片設備中分離出來，四個工位合為一體，實現一個工位即可完成載體盤的冷卻降溫工作，以解決單晶硅拋光片裝片設備上冷卻、淋洗部分占用裝片設備四個工位、占用面積大、載體盤工位之間轉換耗時長、員工操作不方便的問題。

為實現上述發明目的，本實用新型采取的具體技術方案是：一種單工位硅拋光片載體盤冷卻清洗機，主要是由支架、底艙、冷卻盤、管道支架、吹氣管、噴淋花灑、艙蓋、氣缸、下連桿、上連桿、磁信號傳感器、按鈕構成；其中底艙安裝在支架上，冷卻盤安放在底艙的底部前側位置，底艙的底部后部裝一個直立的管道支架，噴淋花灑和吹氣管安裝在管道支架上；艙蓋罩在底艙上，艙蓋通過底艙外部兩側的氣缸、下連桿、上連桿與底艙鉸接在一起，裝在底艙兩邊外壁的按鈕控制艙蓋的開/關；氣缸底部位置安裝有磁信號傳感器，保證在艙蓋完全閉合時設備方能運行。所述的一種單工位硅拋光片載體盤冷卻清洗機，其中底艙是一個700mm×700mm×400mm的方形槽；所述的一種單工位硅拋光片載體盤冷卻清洗機，其中采用不銹鋼焊接組件制成的支架尺寸為700mm×700mm；所述的一種單工位硅拋光片載體盤冷卻清洗機，其中艙蓋頂部裝有透明的有機玻璃。

本實用新型所述的一種單工位硅拋光片載體盤冷卻清洗機，其結構簡單，操作方便，設備體積小，占位少，移動方便。使得原先需要三、四個工位才能完成的冷卻、淋洗工序集中在一臺設備的一個工位上即可完成，所占空間不足0.5平方米，僅為原設備所占空間的1/6，大大節省了空間，使生產線銜接更加緊湊，在引進全套設備時可以減少相應部分的設備訂購，節約了成本和投資。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為安裝了冷卻盤和支架的底艙結構示意圖；

圖中：1、支架，2、底艙，3、冷卻盤，4、管道支架，5、吹氣管，6、噴淋花灑，7、艙蓋，8、氣缸，9、下連桿，10、上連桿，11、按鈕，12、磁信號傳感器。

具體實施方式

下面結合附圖給出本實用新型的具體實施方式如下：

如圖1、圖2所示，本實用新型所述的一種單工位硅拋光片載體盤冷卻清洗機，主要是由支架1、底艙2、冷卻盤3、管道支架4、吹氣管5、噴淋花灑6、艙蓋7、氣缸8、下連桿9、上連桿10、按鈕11、磁信號傳感器12構成。底艙2安裝在用不銹鋼焊接組件制成的尺寸為700mm×700mm的支架1上；底艙2是一個700mm×700mm×400mm的方槽，冷卻盤3安放在底艙2的底部前側位置，冷卻水接入冷卻盤的循環水道中；直立的管道支架4固定在底艙2的底部后部位置，通純水的噴淋花灑6和通氮氣/壓空氣體的吹氣管5安裝在管道支架4上；艙蓋7罩在底艙2上，艙蓋7通過底艙2外部兩側的氣缸8和下連桿9、上連桿10與底艙2鉸接在一起，底艙2兩側的兩組按鈕11控制艙蓋7的開/關；氣缸8的底部安裝磁信號傳感器，艙蓋7合上后觸發延時繼電器開始工作。

工作時，操作人員將已經粘好硅片的載體盤放置到冷卻盤3的中央位置，雙手同時按下底艙2兩側的按鈕11，氣缸8回縮帶動上連桿10、下連桿9關閉艙蓋7，此時磁信號傳感器12觸發，冷卻過程開始。冷卻水由循環水道進出冷卻盤3，帶走載體盤的部分熱量，初步冷卻載體盤；接著噴淋花灑6將純水噴淋在載體盤表面，對載體盤及硅片進行進一步的淋洗冷卻；淋洗冷卻完成后，吹氣管5吹出氮氣/壓空將載體盤表面的水珠吹走，完成全部工作過程后。聽到蜂鳴提醒后，操作人員同時按下底艙2兩側按鈕11，開啟艙蓋7，即可取走載體盤，并開始下一次工作循環。