[實用新型]一種單工位硅拋光片載體盤冷卻清洗機

有效

• 申請號: 201420268829.5
• 申請日: 2014-05-26
• 公開（公告）號: CN203941889U
• 公開（公告）日: 2014-11-12
• 發明（設計）人: 牛海濤;范強;焦二強;李珩粉;張磊
• 申請（專利權）人: 洛陽單晶硅有限責任公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 洛陽明律專利代理事務所 41118
• 代理人: 盧洪方

1.一種單工位硅拋光片載體盤冷卻清洗機，其特征是：硅拋光片載體盤冷卻清洗機主要是由支架（1）、底艙（2）、冷卻盤（3）、管道支架（4）、吹氣管（5）、噴淋花灑（6）、艙蓋（7）、氣缸（8）、下連桿（9）、上連桿（10）、按鈕11）、磁信號傳感器（12）構成；其中底艙（2）安裝在支架（1）上，冷卻盤（3）安放底艙（2）的底部前側位置；底艙（2）的底部后部裝有一個直立的管道支架（4），管道支架（4）上安裝有噴淋花灑（6）和吹氣管（5）；艙蓋（7）罩在底艙（2）上，通過底艙（2）兩側外壁上的氣缸（8）、下連桿（9）、上連桿（10）與底艙（2）鉸接在一起；底艙（2）兩側外壁上裝有控制艙蓋（7）開/關的按鈕（11）；氣缸（8）的底部裝有磁信號傳感器（12）。

2.根據權利要求1所述的一種單工位硅拋光片載體盤冷卻清洗機，其特征是：底艙（2）是一個700mm×700mm×400mm的方形槽。

3.根據權利要求1所述的一種單工位硅拋光片載體盤冷卻清洗機，其特征是：艙蓋（7）上部裝有一塊透明的有機玻璃。

4.根據權利要求1所述的一種單工位硅拋光片載體盤冷卻清洗機，其特征是：支架（1）采用不銹鋼焊接組件制作，尺寸為700mm×700mm。