[實用新型]一種干燥硅片用異丙醇干燥裝置

有效

• 申請號: 201420268737.7
• 申請日: 2014-05-26
• 公開（公告）號: CN203940717U
• 公開（公告）日: 2014-11-12
• 發明（設計）人: 熊誠雷;焦二強;趙文龍;邵奇
• 申請（專利權）人: 洛陽單晶硅有限責任公司
• 主分類號: F26B21/00
• 分類號: F26B21/00
• 代理公司: 洛陽明律專利代理事務所 41118
• 代理人: 盧洪方

1.一種干燥硅片用異丙醇干燥裝置，其特征是：所述的干燥硅片用異丙醇干燥裝置包括由石英缸（1）、石英缸上蓋（2）、雙層噴管（3）組成的干燥腔體和由蒸氣腔（4）、異丙醇加熱器（5）、液位傳感器（6）、氮氣排放閥（7）、異丙醇排放閥（8）、壓力表（9）、異丙醇蒸氣供應閥（10）、三通閥（11）、異丙醇供應閥（12）、氮氣加熱器（13）組成的蒸氣發生腔體和廢液氣收集腔（14）構成；其中兩個雙層噴管（3）分別安裝在石英缸（1）內上部兩側，雙層噴管（3）由一個細石英噴管和一個粗石英噴管同軸套裝在一起，雙層噴管（3）的內管和外管可旋轉調整相互之間的角度；雙層噴管（3）的前端套有帶密封圈的四氟帽，后端通過管路與異丙醇供應閥（12）和三通閥（11）相連；石英缸上蓋（2）可沿導軌滑動到石英缸（1）的上方；石英缸（1）底部中心位置裝有一根與廢液氣收集腔（14）相連接的管路；蒸氣發生腔體的蒸氣腔（4）是一個密封的加熱容器，蒸氣腔（4）外壁一側裝有液位傳感器（6）和分別裝有與異丙醇供應閥（12）及與氮氣加熱器連接的管路，另一側通過裝有氮氣排放閥（7）和異丙醇排放閥（8）的管路分別與廢液氣收集腔（14）連通，壓力表（9）裝在氮氣排放閥（7）管路的上方；三通閥（11）裝在氮氣加熱器（13）和管路上方，異丙醇加熱器（5）安裝在蒸氣腔（4）的底部；廢液氣收集腔（14）設置在異丙醇干燥裝置的下方位置。

2.根據權利要求1所述的一種干燥硅片用異丙醇干燥裝置，其特征是：異丙醇蒸氣噴管采用雙層噴管（3），雙層噴管（3）的細石英噴管管壁上加工有兩排開孔，每排開孔數量為68個，兩排開孔之間夾角為180度。

3.根據權利要求1所述的一種干燥硅片用異丙醇干燥裝置，其特征是：雙層噴管（3）的粗石英噴管管壁上加工有一排開孔，開孔數量為68個。

4.根據權利要求1所述的一種干燥硅片用異丙醇干燥裝置，其特征是：雙層噴管（3）的細石英噴管管壁上的開孔與粗石英噴管管壁上的開孔組裝夾角為90度。

5.根據權利要求1所述的一種干燥硅片用異丙醇干燥裝置，其特征是：安裝時兩根粗石英噴管管壁上的開孔位置水平相對。