[實(shí)用新型]一種干燥硅片用異丙醇干燥裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420268737.7
• 申請日: 2014-05-26
• 公開（公告）號: CN203940717U
• 公開（公告）日: 2014-11-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 熊誠雷;焦二強(qiáng);趙文龍;邵奇
• 申請（專利權(quán)）人: 洛陽單晶硅有限責(zé)任公司
• 主分類號: F26B21/00
• 分類號: F26B21/00
• 代理公司: 洛陽明律專利代理事務(wù)所 41118
• 代理人: 盧洪方

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體材料生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，主要涉及一種干燥硅片用異丙醇干燥裝置。

背景技術(shù)

硅片在生產(chǎn)加工過程中其表面受到嚴(yán)重的污染，而拋光硅片的表面潔凈度是產(chǎn)品最為關(guān)鍵的質(zhì)量參數(shù)之一，必須經(jīng)過濕法清洗去除顆粒、金屬離子和有機(jī)污染物，然后進(jìn)行干燥。硅片清洗之后表面會附帶一層水膜，由于異丙醇具有較低的表面張力，異丙醇干燥工藝是利用異丙醇的這一特性來降低水膜的表面張力，從而達(dá)到干燥目的。異丙醇干燥工藝分為兩個(gè)階段，第一步是異丙醇蒸氣置換、剝離硅片表面水膜的過程，第二步使用熱氮?dú)獯蹈闪粼诠杵砻娴漠惐迹构杵耆稍铩６壳笆褂玫漠惐几稍锲髌鋰姽苁菃螌拥模惐颊魵庵苯訌膰姽艿拈_孔處噴出，異丙醇蒸氣霧化效果較差，難以在硅片表面均勻凝結(jié)，使整個(gè)硅片表面上表面張力分布不均勻，當(dāng)?shù)谝徊襟E結(jié)束后，仍然有部分水膜沒有被取代，最終以水跡的形式殘留在硅片表面。另外，蒸氣腔是用來產(chǎn)生并儲存異丙醇蒸氣的，它是一個(gè)密封容器，滯留其中的大量氮?dú)夂驼魵馇粌?nèi)的異丙醇蒸氣混雜，導(dǎo)致水膜在干燥第一步驟來不及完全被異丙醇覆蓋就被氮?dú)獯蹈桑诠杵狭粝滤邸Ｉ鲜鰞蓚€(gè)缺陷嚴(yán)重影響了產(chǎn)品的合格率和工作效率。

實(shí)用新型內(nèi)容

鑒于現(xiàn)有技術(shù)中所存在的問題，本實(shí)用新型設(shè)計(jì)并公開了一種干燥硅片用異丙醇干燥裝置，在該裝置中將異丙醇蒸氣噴管設(shè)計(jì)為雙層結(jié)構(gòu)，特殊的噴管結(jié)構(gòu)提高了異丙醇蒸氣噴出的霧化效果，形成的異丙醇蒸氣粒徑更細(xì)微，能夠?qū)杵砻孢M(jìn)行全面覆蓋，徹底剝離水膜；在蒸氣腔上設(shè)計(jì)安裝一個(gè)氮?dú)馀欧叛b置，從而避免水膜過早被氮?dú)獯蹈烧舭l(fā)留下水痕，以解決現(xiàn)有異丙醇干燥器易造成硅片干燥不良的問題。

為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采取的具體技術(shù)方案是：一種干燥硅片用異丙醇干燥裝置，主要是由石英缸、石英缸上蓋、雙層噴管、蒸氣腔、異丙醇加熱器、液位傳感器、氮?dú)馀欧砰y、異丙醇排放閥、壓力表、異丙醇蒸氣供應(yīng)閥、三通閥、異丙醇供應(yīng)閥、氮?dú)饧訜崞鳌U液氣收集腔構(gòu)成；其中，異丙醇干燥裝置的干燥腔體由石英缸、石英缸上蓋和雙層噴管組成，兩根雙層噴管安裝在石英缸內(nèi)上部兩側(cè)，雙層噴管由細(xì)石英噴管和粗石英噴管同軸套裝在一起，細(xì)石英噴管和粗石英噴管可通過旋轉(zhuǎn)調(diào)整相互之間的角度；兩個(gè)雙層噴管前端套有帶密封圈的四氟帽，兩個(gè)雙層噴管的后端通過管路與異丙醇蒸氣供應(yīng)閥和三通閥連接；石英缸上蓋可沿導(dǎo)軌滑動到石英缸上方后下降關(guān)閉上蓋，石英缸的底部中心位置接有一根與廢液氣收集腔相連的管路；由蒸氣腔、異丙醇加熱器、液位傳感器、氮?dú)馀欧砰y、異丙醇排放閥、壓力表、異丙醇蒸氣供應(yīng)閥、三通閥、異丙醇供應(yīng)閥、氮?dú)饧訜崞鳂?gòu)成了蒸氣發(fā)生腔體，蒸氣腔是一個(gè)密封的加熱容器，蒸氣腔外壁一側(cè)上安裝有液位傳感器；異丙醇加熱器安裝在蒸氣腔的底部，蒸氣腔外壁另一側(cè)上通過裝有氮?dú)馀欧砰y和異丙醇排放閥的兩條管路分別與廢液氣收集腔連通，壓力表安裝在氮?dú)馀欧砰y管路的上方；異丙醇通過異丙醇供應(yīng)閥上管路進(jìn)入蒸氣腔內(nèi)，氮?dú)饧訜崞魍ㄟ^裝有三通閥的管路與蒸氣腔相連。所述的一種干燥硅片用異丙醇干燥裝置，其中雙層噴管的細(xì)石英噴管管壁上加工有兩排開孔，依據(jù)每個(gè)干燥周期處理兩盒硅片的產(chǎn)量需求，每排開孔數(shù)量為68個(gè)，兩排開孔之間夾角為180度；所述的一種干燥硅片用異丙醇干燥裝置，其中雙層噴管的粗石英噴管管壁上加工有一排開孔，開孔位置和數(shù)量與細(xì)石英噴管開孔數(shù)量相符；所述的一種干燥硅片用異丙醇干燥裝置，其中細(xì)石英噴管開孔孔徑為1.0毫米，粗石英噴管開孔孔徑為1.2毫米；所述的一種干燥硅片用異丙醇干燥裝置，其中雙層噴管的細(xì)石英噴管管壁上的開孔和粗石英噴管管壁上的開孔夾角為90度；所述的一種干燥硅片用異丙醇干燥裝置，其中雙層噴管安裝時(shí)保持兩根噴管的粗石英噴管管壁上的開孔位置水平相對。

本實(shí)用新型所述的一種干燥硅片用異丙醇干燥裝置，加工工藝簡單，安裝操作方便，可以有效解決異丙醇蒸氣霧化效果差和水膜在被異丙醇完全取代前蒸發(fā)導(dǎo)致的干燥不良的問題，提高了產(chǎn)品的合格率，降低生產(chǎn)成本，提高工作效率。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型雙層噴管示意圖。

圖中：1、石英缸，2、石英缸上蓋，3、雙層噴管，4、蒸氣腔，5、異丙醇加熱器，6、液位傳感器，7、氮?dú)馀欧砰y，8、異丙醇排放閥，9、壓力表，10、異丙醇蒸氣供應(yīng)閥，11、三通閥，12、異丙醇供應(yīng)閥，13、氮?dú)饧訜崞鳎?4、廢液氣收集腔。

具體實(shí)施方式