[實用新型]沖洗裝置有效
| 申請號： | 201420260156.9 | 申請日： | 2014-05-20 |
| 公開（公告）號： | CN203955603U | 公開（公告）日： | 2014-11-26 |
| 發明（設計）人： | 趙合明;劉軒 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司 |
| 主分類號： | B08B3/02 | 分類號： | B08B3/02;B08B3/08 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 100176 北京市大興區*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 沖洗 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種沖洗裝置，包含腔室，連通所述腔室的注入管道以及沖洗管道，其特征在于：還包含連接所述腔室的凈化裝置，所述凈化裝置連接所述腔室的上方，且包括進氣管道和出氣管道。?
2.如權利要求1所述的沖洗裝置，其特征在于：所述注入管道延伸至所述腔室內部并靠近所述沖洗管道。?
3.如權利要求1所述的沖洗裝置，其特征在于：所述注入管道從所述腔室的上方進入所述腔室，所述沖洗管道連接所述腔室的下方。?
4.如權利要求1所述的沖洗裝置，其特征在于：所述凈化裝置還包含設置于所述進氣管道上的閥門。?
5.如權利要求1所述的沖洗裝置，其特征在于：所述凈化裝置還包含設置于所述出氣管道上的閥門。?
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