[實用新型]一種限速氣缸

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420259138.9
• 申請日: 2014-05-21
• 公開（公告）號: CN203962540U
• 公開（公告）日: 2014-11-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 萬里
• 申請（專利權(quán)）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: F15B15/14
• 分類號: F15B15/14;F15B15/20
• 代理公司: 上海光華專利事務(wù)所 31219
• 代理人: 李儀萍

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種氣缸，特別是涉及一種限速氣缸。

背景技術(shù)

氣缸是氣壓傳動中將壓縮氣體的壓力能轉(zhuǎn)換為機(jī)械能的氣動執(zhí)行元件。氣缸有做往復(fù)直線運動的和做往復(fù)擺動的兩類。做往復(fù)直線運動的氣缸又可分為單作用、雙作用、膜片式和沖擊氣缸四種。以最常使用的單活塞桿雙作用氣缸為例來說明，氣缸典型結(jié)構(gòu)如圖1所示。它由缸筒10、活塞11、活塞桿12、前端蓋、后端蓋密封件以及氣管13等組成。

雙作用氣缸內(nèi)部被活塞分成兩個腔，有活塞桿腔為有桿腔，無活塞桿腔為無桿腔。當(dāng)從無桿腔輸入壓縮空氣時，有桿腔排氣，氣缸兩腔的壓力差作用在活塞上所形成的力克服阻力負(fù)載推動活塞運動，使活塞桿伸出；當(dāng)有桿腔進(jìn)氣，無桿腔排氣時，使活塞桿縮回。若有桿腔和無桿腔交替進(jìn)氣和排氣，活塞實現(xiàn)往復(fù)直線運動。

目前上述類型氣缸在集成電路制造中被廣泛使用，而集成電路制造中對電子元件的精確性要求極高，而目前存在的氣缸運行速度精確可調(diào)性差，同時氣缸運行速度無法精確顯示，只能依據(jù)人眼和經(jīng)驗來判斷。現(xiàn)行的控制汽缸的運行速度的方法是通過調(diào)節(jié)汽缸的驅(qū)動壓縮空氣的進(jìn)出壓力和流速。目前現(xiàn)有的氣缸存在的缺點是：汽缸運行速度不均勻，向一個方向運動時先快后慢然后才穩(wěn)定。例如：使用汽缸驅(qū)動的晶圓底部的支撐柱，如果氣缸運行速度過快，會導(dǎo)致晶圓位置抬升時因慣性飛離支撐柱，導(dǎo)致晶圓位置偏離預(yù)定位置。再例如：放置晶圓的真空腔體中由汽缸驅(qū)動的狹縫閥開關(guān)速度過快，會因強烈的撞擊和摩擦而產(chǎn)生大量的顆粒污垢，影響真空腔體的潔凈度，影響產(chǎn)品良率。

在集成電路制造中，有必要控制氣缸的運行速度，使其更平穩(wěn)地工作，因此，有必要提出一種新的限速氣缸來解決上述存在的問題。

實用新型內(nèi)容

鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點，本實用新型的目的在于提供一種限速氣缸，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中由于氣缸運行速度不均勻而導(dǎo)致的集成電路制造中影響產(chǎn)品良率的問題。

為實現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實用新型提供一種限速氣缸，其特征在于，所述限速氣缸至少包括：

具有上、下表面且該上、下表面分別設(shè)有第一、第二固定裝置的氣缸主體；位于所述氣缸主體內(nèi)部由一抽拉桿連接的活塞；所述抽拉桿穿過所述氣缸主體的上表面以及所述第一固定裝置；

一端固定于所述第一固定裝置、另一端穿過所述第二固定裝置且與所述抽拉桿平行的旋轉(zhuǎn)螺桿；位于所述第一、第二固定裝置之間的所述旋轉(zhuǎn)螺桿部分套設(shè)有與所述旋轉(zhuǎn)螺桿嚙合的螺母；所述螺母通過一傳動桿連接于穿過所述第一固定裝置的抽拉桿；

穿過所述第二固定裝置的所述旋轉(zhuǎn)螺桿的另一端連接有第一齒輪；所述第二固定裝置上設(shè)有馬達(dá)；所述馬達(dá)連接有嚙合于所述第一齒輪的第二齒輪；所述氣缸主體的頂部和底部分別設(shè)有氣管。

作為本實用新型的限速氣缸的一種優(yōu)選方案，所述馬達(dá)為內(nèi)部不含驅(qū)動或制動電源的限速馬達(dá)。

作為本實用新型的限速氣缸的一種優(yōu)選方案，所述限速馬達(dá)串聯(lián)有可調(diào)負(fù)載，所述可調(diào)負(fù)載為可變電阻。

作為本實用新型的限速氣缸的一種優(yōu)選方案，所述傳動桿的形狀為L型，其水平部分位于所述氣缸主體的上表面的上方；其豎直部分與所述旋轉(zhuǎn)螺桿平行。

作為本實用新型的限速氣缸的一種優(yōu)選方案，所述馬達(dá)連接有轉(zhuǎn)速顯示器和電流限制開關(guān)。

作為本實用新型的限速氣缸的一種優(yōu)選方案，套設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)螺桿的所述螺母與所述氣缸主體內(nèi)部的活塞處于同一高度。

作為本實用新型的限速氣缸的一種優(yōu)選方案，當(dāng)所述活塞位于所述氣缸主體底部時，位于所述氣缸主體外部的第一固定裝置上方的抽拉桿的長度為所述旋轉(zhuǎn)螺桿長度的0.5倍至1倍。

如上所述，本實用新型的限速氣缸，具有以下有益效果：通過對現(xiàn)有技術(shù)中的氣缸增加限速馬達(dá)來輔助限制氣缸主體中活塞運動的速度以及調(diào)整活塞運動的均勻性，同時可以精確調(diào)整并顯示活塞的運行速度，避免由于氣缸主體中活塞運行速度過快產(chǎn)生撞擊和摩擦帶來的塵垢，影響產(chǎn)片的良率。

附圖說明

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的氣缸主體的示意圖。

圖2為本實用新型的限速氣缸的示意圖。

元件標(biāo)號說明

10?????????????????????缸筒

11?????????????????????活塞

12?????????????????????活塞桿

13?????????????????????氣管

20?????????????????????氣缸主體