[實用新型]抑制電極以及離子注入機有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201420258903.5 | 申請日： | 2014-05-20 |
| 公開（公告）號： | CN203895408U | 公開（公告）日： | 2014-10-22 |
| 發(fā)明（設計）人： | 陳曉;栗保安;劉群超 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/30 | 分類號： | H01J37/30 |
| 代理公司： | 上海思微知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 100176 北京市大興區(qū)*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 抑制 電極 以及 離子 注入 | ||
1.一種抑制電極，其特征在于，所述抑制電極包括一入射板，所述入射板包括至少三個入射板電極以及一入射板孔，所述至少三個入射板電極旋轉(zhuǎn)排列形成所述入射板孔，每一所述入射板電極分別連接一可調(diào)電壓。
2.如權利要求1所述的抑制電極，其特征在于，所有的所述入射板電極均為半徑相等的扇形板，每一扇形板的圓心處均具有一缺角，所有的所述扇形板排列為一圓形板，所有的所述缺角形成所述入射板孔。
3.如權利要求2所述的抑制電極，其特征在于，所述入射板包括四個所述入射板電極。
4.如權利要求2所述的抑制電極，其特征在于，所有的所述扇形的圓心角的角度均相同。
5.如權利要求1所述的抑制電極，其特征在于，相鄰的所述入射板電極間隔設置，所述間隔的寬度為1mm～5mm。
6.如權利要求1所述的抑制電極，其特征在于，所述入射板的厚度為1mm～5mm。
7.如權利要求1-6中任意一項所述的抑制電極，其特征在于，所述抑制電極還包括：
后板，所述后板包括一后板孔，所述后板孔正對所述入射板孔；以及
用于連接固定所述入射板和后板的絕緣連接件。
8.如權利要求7所述的抑制電極，其特征在于，所述后板孔為圓角矩形。
9.如權利要求8所述的抑制電極，其特征在于，所述后板孔的寬度為3mm～8mm，所述后板孔的長度為40mm～55mm。
10.如權利要求8所述的抑制電極，其特征在于，所述入射板孔為橢圓形，所述橢圓形的長軸方向?qū)鰣A角矩形的長度方向，所述橢圓形的短軸方向?qū)鰣A角矩形的寬度方向。
11.如權利要求10所述的抑制電極，其特征在于，所述入射板孔的短軸直徑大于等于所述后板孔的寬度，并小于等于所述后板孔的兩倍寬度。
12.如權利要求8所述的抑制電極，其特征在于，所述后板還包括一后板電極和一用于支撐所述后板電極的后板支架，所述后板孔設置于所述后板電極中，所述后板電極設置于所述后板支架中。
13.如權利要求12所述的抑制電極，其特征在于，所述絕緣連接件連接所述后板支架。
14.如權利要求8所述的抑制電極，其特征在于，所述絕緣連接件包括多個實心棒，所述實心棒的一端連接所述入射板，所述實心棒的另一端連接所述后板。
15.如權利要求8所述的抑制電極，其特征在于，所述后板的厚度為5mm～15mm。
16.如權利要求8所述的抑制電極，其特征在于，所述入射板與后板之間的距離為30mm～80mm。
17.一種離子注入機，其特征在于，包括如權利要求1-16中任意一項所述的抑制電極。
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