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[實用新型]一種用于多晶鑄錠生產的二次摻雜裝置有效

專利信息
申請號: 201420251182.5 申請日: 2014-05-15
公開(公告)號: CN203866405U 公開(公告)日: 2014-10-08
發明(設計)人: 張蘇州 申請(專利權)人: 浙江溢閎光電科技有限公司
主分類號: C30B31/06 分類號: C30B31/06
代理公司: 杭州豐禾專利事務所有限公司 33214 代理人: 曹康華
地址: 314302 浙江*** 國省代碼: 浙江;33
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 用于 多晶 鑄錠 生產 二次 摻雜 裝置
【權利要求書】:

1.一種用于多晶鑄錠生產的二次摻雜裝置,包括多晶鑄錠爐(1)、坩堝(2)和進氣管(3),所述坩堝(2)固定安裝在多晶鑄錠爐(1)內,所述進氣管(3)的一端與坩堝(2)上部相連接,進氣管(3)的另一端延伸到多晶鑄錠爐(1)的外部,其特征在于:所述進氣管(3)位于多晶鑄錠爐(1)外部的一端還依次連接有進氣支管(4)和三通容器(5),所述三通容器(5)的三個接口分別為用于連接氬氣供應裝置的氬氣進氣口(51)、用于與進氣支管(4)連接的進氣接口(52)和用于將摻雜劑加入三通容器(5)的摻雜接口(53),所述氬氣進氣口(51)處設有一號閥(54),所述進氣接口(52)處設有二號閥(55),所述摻雜接口(53)處設有三號閥(56)。

2.根據權利要求1所述的一種用于多晶鑄錠生產的二次摻雜裝置,其特征在于:所述摻雜接口(53)上還開有摻雜孔,所述摻雜孔通過密封件密封。

3.根據權利要求1所述的一種用于多晶鑄錠生產的二次摻雜裝置,其特征在于:所述一號閥(54)、二號閥(55)和三號閥(56)均為手動旋塞閥。

4.根據權利要求1所述的一種用于多晶鑄錠生產的二次摻雜裝置,其特征在于:所述三通容器(5)的氬氣進氣口(51)、進氣接口(52)和摻雜接口(53)的內徑均為20mm。

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