[實(shí)用新型]用于加熱CVD反應(yīng)器的基座的設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420247512.3
• 申請(qǐng)日: 2014-05-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN204162789U
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-02-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: P-A.伯丁;M.E.奧彭;K.艾倫;F.M.A.克勞利
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 艾克斯特朗歐洲公司
• 主分類號(hào): C23C16/46
• 分類號(hào): C23C16/46
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 侯宇

1.一種用于加熱CVD反應(yīng)器(1)的基座(4)的設(shè)備，具有至少一個(gè)加熱件(9、19)，其中，所述加熱件(9、19)的部段或者不同的加熱件(9、19)并排延伸并且借助支撐件(10、20)相對(duì)于支撐板被位置固定，其中，所述支撐件(10、20)分別具有形狀接合地、牢固地插入所述支撐板(29)的固定開(kāi)口內(nèi)的支腳和與橫向于所述支撐板(29)的延伸面延伸的柄部(14、24)相連接的頭部(11、12、13；21、22、23)，所述加熱件(9、19)固定在所述頭部(11、12、13；21、22、23)上，其特征在于，所述支腳通過(guò)形狀接合固定件固定在所述支撐板(29)的固定開(kāi)口(38)內(nèi)，所述形狀接合固定件將所述支撐件(10、20)沿所述柄部(14、24)的延伸方向束縛在所述支撐板(29)上。?

2.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，所述形狀接合固定件具有至少一個(gè)橫向于所述柄部(14、24)的延伸方向延伸的固持凸起，在安裝所述支撐件(10、20)時(shí)，所述固持凸起能夠穿過(guò)所述固定開(kāi)口(38)并且在轉(zhuǎn)動(dòng)所述支撐件(10、20)和/或所述固持凸起變形后從下端夾持所述支撐板(29)或插入所述固定開(kāi)口(38)內(nèi)的插入件(35)，并且所述形狀接合固定件還具有至少一個(gè)橫向于所述柄部(14、24)的延伸方向延伸的固定凸起。?

3.如權(quán)利要求2所述的設(shè)備，其特征在于，所述插入件(35)是絕緣體，并且所述支撐板(29)由金屬構(gòu)成。?

4.如權(quán)利要求2或3所述的設(shè)備，其特征在于，至少所述支腳被設(shè)計(jì)為平面部件，并且所述固定開(kāi)口(38)被設(shè)計(jì)為長(zhǎng)孔，所述長(zhǎng)孔具有窄孔段(38’)和寬孔段(38”)，所述窄孔段(38’)的寬度基本上等于所述固持凸起的材料厚度，所述寬孔段(38”)基本上等于在所述支撐凸起和固持凸起之間延伸的頸部的寬度。?

5.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，所述頭部(11、12、13；21、22、23)具有至少一個(gè)弧形走向的支承面(13、23)，由螺旋盤(pán)繞的加熱線構(gòu)成的所述加熱件(9、19)貼靠在所述支承面(13、23)上，和/或所述支承面(13、23)被設(shè)計(jì)為凹穴(23)或四周封閉的孔和/或具有貼靠在所述加熱件(9、19)上的齒紋表面。?

6.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，所述支撐件(10、20)具有至少一個(gè)凹槽(18、18’、28、28’)，線(44)設(shè)置在所述凹槽(18、18’、28、28’)?內(nèi)，所述加熱件(9、19)借助所述線(44)固定在所述支撐件(10、20)上。?

7.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，所述支撐件(10、20)由平坦的金屬部件制成并且被設(shè)計(jì)為沖壓件。?

8.一種用于加熱CVD反應(yīng)器(1)的基座(4)的設(shè)備，具有至少一個(gè)加熱件(9、19)，所述加熱件(9、19)與至少一個(gè)接觸板(39、40)相連接，所述接觸板(39、40)借助連接件(30)相對(duì)于支撐板(29)被位置固定，其特征在于，所述連接件(30)分別插入所述支撐板(29)的開(kāi)口(41)中和所述接觸板(39、40)的開(kāi)口(42、43)中，并且在此通過(guò)形狀接合固定件被固定。?

9.如權(quán)利要求8所述的設(shè)備，其特征在于，所述形狀接合固定件固定在插入所述開(kāi)口(42、43)的絕緣體(35)中。?

10.如權(quán)利要求8或9所述的設(shè)備，其特征在于，所述至少一個(gè)接觸板(39、40)、所述支撐板(29)和所述至少一個(gè)加熱件(9、19)在三個(gè)彼此平行延伸的平面內(nèi)延伸，并且所述支撐板(29)支撐著支撐件(10、20)，所述至少一個(gè)加熱件(9、19)借助所述支撐件(10、20)相對(duì)于所述支撐板(29)被位置固定。?

11.如權(quán)利要求8所述的設(shè)備，其特征在于，所述連接件(30)將兩個(gè)在平行平面內(nèi)彼此間隔布置的接觸板(39、40)相互連接，其中，所述連接件(30)穿過(guò)由絕緣材料制成的間隔體(37)。?

12.如權(quán)利要求11所述的設(shè)備，其特征在于，所述連接件(30)是由金屬構(gòu)成的扁平體，并且所述形狀接合件被設(shè)計(jì)為凸起，所述凸起支撐在所述支撐板(29)或所述接觸板(39、40)的表面上或插入所述開(kāi)口(41、42、43)之一內(nèi)的插入件(35)上，和/或所述形狀接合固定件由所述連接件(30)的橫向開(kāi)口和插入其中的固定件的銷(xiāo)構(gòu)成。?