[實用新型]OLED器件制造設備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420243831.7
• 申請日: 2014-05-13
• 公開（公告）號: CN203941951U
• 公開（公告）日: 2014-11-12
• 發(fā)明（設計）人: 馬東閣;錢進;劉一鵬
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春應用化學研究所
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所 22210
• 代理人: 南小平

技術領域

本發(fā)明涉及一種OLED器件制造集成化設備，屬于有機光電子產業(yè)技術領域。

背景技術

目前，OLED(有機發(fā)光二極管)的效率已經達到照明要求，現(xiàn)在迫切需要解決壽命問題。由于OLED中的有機材料和金屬電極對空氣中的水、氧極度敏感，在器件制備和工作過程中，空氣中的氧氣和濕氣很容易使有機材料的光化學和電化學穩(wěn)定性變差，造成熒光淬滅，大大影響其穩(wěn)定性。同時，其金屬電極也很容易與空氣中的水和氧反應，破壞電極的功能性，降低器件的使用壽命。因此OLED器件制造設備對保證器件穩(wěn)定性和壽命就顯得十分重要。OLED的制造工藝過程通常包括內耦合層和ITO導電電極的制備、ITO導電電極的等離子體處理、OLED器件的有機和金屬電極的蒸鍍、OLED器件的封裝，目前通常的OLED器件制造設備基本還都是獨立單元，在無法保證器件效率和穩(wěn)定性的同時，也無法滿足OLED器件生產的連續(xù)性要求和性能優(yōu)化。

實用新型內容

為解決OLED中的有機材料和金屬電極對水、氧敏感性和各部分單一制備的問題，本實用新型提供了可以連續(xù)的進行OLED的光提取膜和無機封裝膜的電子束鍍膜、ITO磁控濺射鍍膜、ITO氧等離子體處理、OLED有機層和金屬電極鍍膜和封裝手套箱的集成化設備。

本實用新型的技術方案是：

OLED器件制造設備，其特征是，該設備中過度單元通過閘板伐連通手套箱和裝片單元，裝片單元再通過閘板伐傳入樣片傳遞轉換單元，樣片傳遞轉換單元前后左右，各有連接口，分別通過閘板伐連接到器件制備單元、磁控濺射單元和電子束單元。

清洗過的玻璃樣片，通過惰性氣體手套箱裝入過度單元；打開閘板伐聯(lián)通過度單元和裝片單元，通過齒輪架穿過閘板伐傳入裝片單元；完成交接關閉閘板伐，然后打開閘板伐，打開樣片傳遞轉換單元內的真空機械手通過閘板伐伸入裝片單元把玻璃樣片拖回到樣片傳遞轉換單元中；打開閘板伐通過真空機械手將玻璃樣片送入電子束單元，無機內耦合薄膜完成后，打開閘板伐通過樣片傳遞轉換單元內的真空機械手將玻璃樣片送入磁控濺射單元，ITO薄膜完成后，再通過樣片傳遞轉換單元內的真空機械手穿過閘板伐將玻璃樣片送入到裝片單元，進行等離子體處理；之后再通過樣片傳遞轉換單元內的真空機械手穿過閘板伐將玻璃樣片送入到器件制備單元，器件制備完畢后再通過樣片傳遞轉換單元內的真空機械手穿過閘板伐、閘板伐將器件送入裝片單元，并通過齒輪架穿過閘板伐進入過度單元送入惰性氣體手套箱進行封裝。

本實用新型的有益效果是：解決了OLED器件從玻璃樣品進入，在真空狀態(tài)下，直接出產成品的過程，該設備采用“團簇式”結構，不但節(jié)約了空間，而且通過傳遞交換室使磁控濺射單元、器件蒸發(fā)單元、電子束單元和封裝單元更好的結合到了一起，真正實現(xiàn)了全真空無相互污染的OLED生產技術，而“團簇式”結構也利于設備檢修和維護。

附圖說明

圖1：本實用新型OLED器件制造設備結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型做進一步詳細說明。

如圖1所示，本實用新型OLED器件制造設備，該設備中過度單元1通過閘板伐7連通手套箱8和裝片單元2(也是等離子體處理單元)，裝片單元2再通過閘板伐7-1傳入樣片傳遞轉換單元3、樣片傳遞轉換單元3前后左右，各有連接口。樣片傳遞轉換單元3分別通過閘板伐7-2連接到器件制備單元4、7-3連接到磁控濺射單元5、7-4連接到電子束單元6。

清洗過的玻璃樣片，通過惰性氣體手套箱8裝入過度單元1。打開閘板伐7聯(lián)通過度單元1和裝片單元2，通過齒輪架穿過閘板伐7傳入裝片單元2。完成交接關閉閘板伐7，然后打開閘板伐7-1，打開樣片傳遞轉換單元3內的真空機械手通過閘板伐7-1伸入裝片單元2把玻璃樣片拖回到樣片傳遞轉換單元3中。打開閘板伐7-4通過真空機械手將玻璃樣片送入電子束單元6，無機藕合模完成后，打開閘板伐7-3通過樣片傳遞轉換單元3內的真空機械手將玻璃樣片送入磁控濺射單元5，ITO薄膜完成后，再通過樣片傳遞轉換單元3內的真空機械手穿過閘板伐7-2將玻璃樣片送入到器件制備單元4，器件制備完畢后，通過樣片傳遞轉換單元3內的真空機械手穿過閘板伐7-4、閘板伐7-1送入裝片單元2，通過齒輪架穿過閘板伐7進入過度單元1送入惰性氣體手套箱8進行封裝。封裝結束后成品完成。

采用韓國DASA的DTR3-2205T型機械臂，X、Y和Z軸的最大工作移動范圍分別為200mm、200mm和50mm，X和Y軸的工作移動速度在5-500mm/sec范圍內連續(xù)可調，Z軸的工作移動速度在2.5-250mm/sec范圍內連續(xù)可調，X、Y和Z軸的往返精度為0.01mm。