[實用新型]OLED器件制造設備

有效

• 申請號: 201420243831.7
• 申請日: 2014-05-13
• 公開（公告）號: CN203941951U
• 公開（公告）日: 2014-11-12
• 發明（設計）人: 馬東閣;錢進;劉一鵬
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春應用化學研究所
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所 22210
• 代理人: 南小平

1.OLED器件制造設備，其特征是，該設備中過度單元(1)通過閘板伐(7)連通手套箱(8)和裝片單元(2)，裝片單元(2)再通過閘板伐(7-1)傳入樣片傳遞轉換單元(3)、樣片傳遞轉換單元(3)前后左右，各有連接口；樣片傳遞轉換單元(3)分別通過閘板伐連接到器件制備單元(4)、磁控濺射單元(5)、閘板伐(7-4)和電子束單元(6)。

2.根據權利要求1所述的OLED器件制造設備，其特征在于，清洗過的玻璃樣片通過惰性氣體手套箱(8)裝入過度單元(1)；打開閘板伐(7)聯通過度單元(1)和裝片單元(2)，通過齒輪架穿過閘板伐(7)將玻璃樣片傳入裝片單元(2)；完成交接后關閉閘板伐(7)，然后打開閘板伐(7-1)，打開樣片傳遞轉換單元(3)內的真空機械手通過閘板伐(7-1)伸入裝片單元(2)把玻璃樣片拖回到樣片傳遞轉換單元(3)中；打開閘板伐(7-4)通過真空機械手將玻璃樣片送入電子束單元(6)，無機內耦合薄膜完成后，打開閘板伐(7-3)通過樣片傳遞轉換單元(3)內的真空機械手將玻璃樣片送入磁控濺射單元(5)，ITO薄膜完成后，再通過樣片傳遞轉換單元(3)內的真空機械手穿過閘板伐(7-2)將玻璃樣片送入到裝片單元(2)，進行等離子體處理；之后再通過樣片傳遞轉換單元(3)內的真空機械手穿過閘板伐將玻璃樣片送入到器件制備單元(4)，器件制備完畢后再通過樣片傳遞轉換單元(3)內的真空機械手穿過閘板伐(7-4)、閘板伐(7-1)將器件送入裝片單元(2)，并通過齒輪架穿過閘板伐(7)進入過度單元(1)送入惰性氣體手套箱(8)進行封裝。