[實(shí)用新型]一種真空噴涂旋轉(zhuǎn)靶材的行走機(jī)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420243649.1
• 申請日: 2014-05-14
• 公開（公告）號: CN203862461U
• 公開（公告）日: 2014-10-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 羅建冬
• 申請（專利權(quán)）人: 廈門映日新材料科技有限公司
• 主分類號: B05B13/02
• 分類號: B05B13/02;B05C13/02
• 代理公司: 廈門市精誠新創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 35218
• 代理人: 方惠春

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種真空噴涂旋轉(zhuǎn)靶材的行走機(jī)構(gòu)，按國際專利分類表(IPC)劃分屬于靶材噴涂中移動(dòng)機(jī)構(gòu)技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

?在真空噴涂旋轉(zhuǎn)靶材過程中，靶材和噴槍都位于真空罐體內(nèi)，噴槍和旋轉(zhuǎn)靶材自己必須產(chǎn)生水平相對移動(dòng)來完成噴涂工藝，而這種水平相對移動(dòng)就要通過行走機(jī)構(gòu)來實(shí)現(xiàn)。現(xiàn)有的行走機(jī)構(gòu)是通過伺服電機(jī)帶動(dòng)鏈條后，鏈條帶動(dòng)槍架，從而使得噴槍隨著進(jìn)行水平移動(dòng)。由于在真空噴涂靶材的真空罐體中有大量的粉塵，粉塵會(huì)導(dǎo)致鏈條與齒輪錯(cuò)位，最終導(dǎo)致行走機(jī)構(gòu)運(yùn)行不穩(wěn)定甚至停止行走。大大提高了真空噴涂靶材作業(yè)的異常率；而且噴槍上有許多連接電路和冷卻水路，在噴槍行走過程中，電路和冷卻水路也會(huì)跟著移動(dòng)，這樣導(dǎo)致了電路和回路異常率大大提高，從而影響旋轉(zhuǎn)靶材的噴涂效率。

由此，本發(fā)明人考慮對現(xiàn)有的靶材噴涂中水平移動(dòng)的機(jī)構(gòu)進(jìn)行改進(jìn)，本案由此產(chǎn)生。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供了一種真空噴涂旋轉(zhuǎn)靶材的行走機(jī)構(gòu)，其增加行走機(jī)構(gòu)的平穩(wěn)性、降低連接噴槍電路和冷卻水路的異常發(fā)生率，從而提高旋轉(zhuǎn)靶材的噴涂效率，降低靶材噴涂成本。

為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的：

一種真空噴涂旋轉(zhuǎn)靶材的行走機(jī)構(gòu)，該行走機(jī)構(gòu)位于真空靶材噴涂罐體內(nèi)并固定于罐體內(nèi)壁上；該行走機(jī)構(gòu)包括固定架及移動(dòng)車，所述固定架包括固定板及滑軌，所述滑軌固定于固定板上，而固定板固定于罐體內(nèi)壁上；所述移動(dòng)車上設(shè)置有固定靶材卷筒的靶材支架，該移動(dòng)車下方設(shè)置有與滑軌配合實(shí)現(xiàn)移動(dòng)車滑動(dòng)的滾輪。

進(jìn)一步，所述滑軌為兩個(gè)平行設(shè)置的圓柱滑軌，每根滑軌下方均設(shè)置有滑軌支柱，形成滑軌支撐結(jié)構(gòu)。

進(jìn)一步，所述移動(dòng)車包括車架、靶材支架及滾輪，所述滾輪設(shè)置于車架下方并分別與兩圓柱滑軌配合形成滑動(dòng)機(jī)構(gòu)，而靶材支架上端呈弧形并固定于車架中央。

進(jìn)一步，所述滾輪為表面凹陷滾輪。

進(jìn)一步，所述車架一側(cè)設(shè)置有定位板，該定位板下方設(shè)置有齒排。

進(jìn)一步，所述行走機(jī)構(gòu)還包括伺服電機(jī)，該伺服電機(jī)穿過罐體側(cè)壁伸入至罐體的噴涂腔內(nèi)，該伺服電機(jī)的輸出桿的輸出端固定有齒輪，該齒輪與齒排相互嚙合，形成對移動(dòng)車移動(dòng)的動(dòng)力結(jié)構(gòu)。

與現(xiàn)有技術(shù)相比較，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)：

1、本實(shí)用新型是通過齒輪、齒排的傳動(dòng)，不易受真空腔體內(nèi)大量粉塵的影響而較目前的行走機(jī)構(gòu)穩(wěn)定性大大提高；

2、本實(shí)用新型是針對靶材水平移動(dòng)，而噴槍相對靜止，這樣可以噴槍上的電路和冷卻水路在真空等離子噴涂過程中不需要移動(dòng)，大大降低了電路和冷卻水路的異常發(fā)生率。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明：

實(shí)施例：請參閱圖1所示，種真空噴涂旋轉(zhuǎn)靶材的行走機(jī)構(gòu)，該行走機(jī)構(gòu)位于真空靶材噴涂罐體1內(nèi)并固定于罐體1內(nèi)壁上；該行走機(jī)構(gòu)包括固定架2、移動(dòng)車3及伺服電機(jī)4。

請參閱圖1所示，前述所述固定架2包括固定板21及滑軌22，所述滑軌22固定于固定板21上，而固定板21固定于罐體1內(nèi)壁上，其中滑軌22為兩個(gè)平行設(shè)置的圓柱滑軌，每根滑軌下方均設(shè)置有滑軌支柱221。

請參閱圖1所示，前述移動(dòng)車3包括車架31、靶材支架32及滾輪33，所述滾輪33設(shè)置于車架31下方并分別與兩圓柱滑軌22配合形成滑動(dòng)機(jī)構(gòu)，而靶材支架32上端呈弧形并固定于車架31中央并與罐體頂端的噴槍A相對應(yīng)；車架31一側(cè)設(shè)置有定位板5，該定位板5下方設(shè)置有齒排51，該齒排51與齒輪6相互嚙合，形成對移動(dòng)車移動(dòng)方向的定位結(jié)構(gòu)，其中所述滾輪33為表面凹陷滾輪。

請參閱圖1所示，前述伺服電機(jī)4穿過罐體1側(cè)壁伸入至罐體的噴涂腔內(nèi)，前述齒輪固6定于伺服電機(jī)4的輸出桿的輸出端上，該齒輪6并與齒排51相互嚙合。

請參閱圖1所示，本實(shí)用新型伺在服電機(jī)啟動(dòng)時(shí)，通過伺服電機(jī)自帶齒輪旋轉(zhuǎn)，齒輪6與移動(dòng)車3上的齒排51相互作用，移動(dòng)車3由于相互作用力的影響會(huì)向前或向后移動(dòng)，從而帶動(dòng)靶材在真空腔體內(nèi)水平運(yùn)動(dòng)，與噴槍形成水平相對移動(dòng)，即可滿足真空等離子噴涂作業(yè)要求。

以上所記載，僅為利用本創(chuàng)作技術(shù)內(nèi)容的實(shí)施例，任何熟悉本項(xiàng)技藝者運(yùn)用本創(chuàng)作所做的修飾、變化，皆屬本創(chuàng)作主張的專利范圍，而不限于實(shí)施例所揭示者。