[實用新型]一種真空噴涂旋轉靶材的行走機構

有效

• 申請號: 201420243649.1
• 申請日: 2014-05-14
• 公開（公告）號: CN203862461U
• 公開（公告）日: 2014-10-08
• 發明（設計）人: 羅建冬
• 申請（專利權）人: 廈門映日新材料科技有限公司
• 主分類號: B05B13/02
• 分類號: B05B13/02;B05C13/02
• 代理公司: 廈門市精誠新創知識產權代理有限公司 35218
• 代理人: 方惠春

1.一種真空噴涂旋轉靶材的行走機構，其特征在于：該行走機構位于真空靶材噴涂罐體內并固定于罐體內壁上；該行走機構包括固定架及移動車，所述固定架包括固定板及滑軌，所述滑軌固定于固定板上，而固定板固定于罐體內壁上；所述移動車上設置有固定靶材卷筒的靶材支架，該移動車下方設置有與滑軌配合實現移動車滑動的滾輪。

2.根據權利要求1所述的一種真空噴涂旋轉靶材的行走機構，其特征在于：所述滑軌為兩個平行設置的圓柱滑軌，每根滑軌下方均設置有滑軌支柱，形成滑軌支撐結構。

3.根據權利要求1所述的一種真空噴涂旋轉靶材的行走機構，其特征在于：所述移動車包括車架、靶材支架及滾輪，所述滾輪設置于車架下方并分別與兩圓柱滑軌配合形成滑動機構，而靶材支架上端呈弧形并固定于車架中央。

4.根據權利要求3所述的一種真空噴涂旋轉靶材的行走機構，其特征在于：所述滾輪為表面凹陷滾輪。

5.根據權利要求3所述的一種真空噴涂旋轉靶材的行走機構，其特征在于：所述車架一側設置有定位板，該定位板下方設置有齒排。

6.根據權利要求1所述的一種真空噴涂旋轉靶材的行走機構，其特征在于：所述行走機構還包括伺服電機，該伺服電機穿過罐體側壁伸入至罐體的噴涂腔內，該伺服電機的輸出桿的輸出端固定有齒輪，該齒輪與齒排相互嚙合，形成對移動車移動的動力結構。