[實用新型]一種可變衰減器裝置有效
| 申請號： | 201420235738.1 | 申請日： | 2014-05-09 |
| 公開（公告）號： | CN203825292U | 公開（公告）日： | 2014-09-10 |
| 發明（設計）人： | 劉洋 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司 |
| 主分類號： | G02B26/02 | 分類號： | G02B26/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務所 31219 | 代理人： | 李儀萍 |
| 地址： | 100176 北京市大興*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 可變 衰減器 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種可變衰減器裝置，該裝置設置于入射光的光路上，其特征在于，所述裝置至少包括：第一平板玻璃和第二平板玻璃；所述第一平板玻璃和第二平板玻璃形成“＜”或“＞”形狀，所述第一平板玻璃與水平面的夾角等于所述第二平板玻璃與水平面的夾角。
2.根據權利要求1所述的可變衰減器裝置，其特征在于：所述第一平板玻璃和第二平板玻璃的正、反表面上均涂有提高其反射率的薄膜材料。
3.根據權利要求1所述的可變衰減器裝置，其特征在于：所述第一平板玻璃與水平面的夾角范圍為40～50°；所述第二平板玻璃與水平面的夾角范圍為40～50°。
4.根據權利要求3所述的可變衰減器裝置，其特征在于：所述第一平板玻璃與水平面的夾角范圍為45°；所述第二平板玻璃與水平面的夾角范圍為45°。
5.根據權利要求1所述的可變衰減器裝置，其特征在于：所述第一平板玻璃和第二平板玻璃的厚度范圍均為1～10mm。
6.根據權利要求4～5中任一項所述的可變衰減器裝置，其特征在于：入射光經過所述第一平板玻璃和第二平板玻璃的透光率范圍為0.05～0.95。
7.根據權利要求1所述的可變衰減器裝置，其特征在于：所述第一平板玻璃和第二平板玻璃的形狀均為方形。
8.根據權利要求1所述的可變衰減器裝置，其特征在于：所述入射光波長為193nm。
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