[實(shí)用新型]為檢測(cè)硅烷氣體中氯化物含量進(jìn)行硅烷采樣的裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420229222.6
• 申請(qǐng)日: 2014-05-07
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN203837975U
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-09-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳德偉;方鑫建;趙斌
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浙江中寧硅業(yè)有限公司
• 主分類號(hào): G01N1/22
• 分類號(hào): G01N1/22
• 代理公司: 杭州求是專利事務(wù)所有限公司 33200
• 代理人: 張法高

技術(shù)領(lǐng)域

本文涉及一種為有效檢測(cè)硅烷氣體中氯化物含量進(jìn)行硅烷采樣的裝置，對(duì)于硅烷氣體品質(zhì)的控制具有較大意義。?

背景技術(shù)

硅烷，分子式為SiH₄，是一種無(wú)色有毒氣體，化學(xué)性質(zhì)極為活潑，遇空氣能自燃，生成很濃的白色的無(wú)定型二氧化硅煙霧。硅烷常用于太陽(yáng)能電池制造、集成電路制造、涂膜反射玻璃制造等行業(yè)，使用時(shí)對(duì)硅烷中的雜質(zhì)氣體（H₂、N₂、CH₄等）的含量有嚴(yán)格要求。?

硅烷中的氯化物的分析常以高純?nèi)ルx子水吸收硅烷氣體后水溶解氯化物，再用化學(xué)滴定其中氯離子的方法進(jìn)行。?

目前國(guó)際上采用的檢測(cè)方法均采用國(guó)標(biāo)GB/T?15909-2009所述的檢測(cè)方法，該操作方法存在著尾氣的吸收處理不徹底、管路死角的殘氣難以清除以及安全性低等諸多弊端。?

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是在此國(guó)標(biāo)所述操作方法的基礎(chǔ)上進(jìn)行創(chuàng)新，徹底解決以上存在的吸收處理不徹底、管路死角的殘氣難以清除以及安全性低等問(wèn)題，提供一種安全性高、方便檢測(cè)以及檢測(cè)效果好的為檢測(cè)硅烷氣體中氯化物含量進(jìn)行硅烷采樣的裝置。鑒于硅烷氣體易發(fā)生自燃或者爆炸的特殊性，本實(shí)用新型使用密閉的系統(tǒng)，系統(tǒng)在常開(kāi)的通風(fēng)柜中進(jìn)行，保證采樣過(guò)程的順利進(jìn)行。?

為檢測(cè)硅烷氣體中氯化物含量進(jìn)行硅烷采樣的裝置包括硅烷的減壓過(guò)濾裝置、硅烷的吸收消解裝置、硅烷的稀釋防燃燒裝置，硅烷的減壓過(guò)濾裝置包括順次相連的減壓閥、合流三通閥、過(guò)濾器，硅烷的吸收消解裝置包括流量計(jì)、止回閥、密閉消解瓶、第一磁力攪拌器、第二磁力攪拌器、第一密閉錐形瓶、第二密閉錐形瓶，第一磁力攪拌器、第二磁力攪拌器上分別設(shè)置有第一密閉錐形瓶、第二密閉錐形瓶，硅烷的稀釋防燃燒裝置包括相連的分流三通閥和敞開(kāi)的水桶，分流三通閥和合流三通閥相連，敞開(kāi)的水桶與第二密閉錐形瓶相連，整個(gè)裝置的連接管路為316L不銹鋼管。?

所述的密閉消解瓶、第一磁力攪拌器、第二磁力攪拌器、第一密閉錐形瓶、第二密閉錐形瓶設(shè)置在通風(fēng)柜內(nèi)。?

所述的第一密閉錐形瓶和第二密閉錐形瓶的容積均為2000ml。?

所述的第一密閉錐形瓶、第二密閉錐形瓶?jī)?nèi)各盛有質(zhì)量百分比濃度為10%的氫氧化鉀溶液2000ml。?

所述的密閉消解瓶?jī)?nèi)盛有電阻率大于18MΩ·cm的高純?nèi)ルx子水。?

????本實(shí)用新型要求錐形瓶?jī)?nèi)的氫氧化鉀溶液體積各為2000ml，濃度為10%。消解瓶?jī)?nèi)的水為高純?nèi)ルx子水，高純氮?dú)鈨?nèi)不含有氯化物、氧氣等雜質(zhì)。本實(shí)用新型解決了吸收處理不徹底、管路死角的殘氣難以清除以及安全性低等問(wèn)題，安全性高、方便檢測(cè)、檢測(cè)效果好。?

附圖說(shuō)明

圖1為檢測(cè)硅烷氣體中氯化物含量進(jìn)行硅烷采樣的裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；?

圖2為國(guó)標(biāo)GB/T?15909-2009所述裝置的示意圖；

圖3為合流分流三通閥結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3(a)為合流三通閥結(jié)構(gòu)示意圖,圖3(b)為分流三通閥結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中，分流三通閥1，合流三通閥2，減壓閥3，過(guò)濾器4，流量計(jì)5，止回閥6，密閉消解瓶7，第一磁力攪拌器8,第二磁力攪拌器9，第一密閉錐形瓶10,第二密閉錐形瓶11，水桶12，通風(fēng)柜13，磁力攪拌器14,水浴15,出氣口16,洗氣瓶17,流量計(jì)18,壓力調(diào)節(jié)器19,硅烷氣體20,高純氮?dú)馄?1。

具體實(shí)施方式

圖2為國(guó)標(biāo)GB/T?15909-2009所述裝置的示意圖；該操作方法存在著尾氣吸收處理不徹底、管路死角的殘氣難以清除以及安全性低等諸多弊端。?

如圖1和圖3所示，為檢測(cè)硅烷氣體中氯化物含量進(jìn)行硅烷采樣的裝置包括硅烷的減壓過(guò)濾裝置、硅烷的吸收消解裝置、硅烷的稀釋防燃燒裝置，硅烷的減壓過(guò)濾裝置包括順次相連的減壓閥3、合流三通閥2、過(guò)濾器4，硅烷的吸收消解裝置包括流量計(jì)5、止回閥6、密閉消解瓶7、第一磁力攪拌器8、第二磁力攪拌器9、第一密閉錐形瓶10、第二密閉錐形瓶11，第一磁力攪拌器8、第二磁力攪拌器9上分別設(shè)置有第一密閉錐形瓶10、第二密閉錐形瓶11，硅烷的稀釋防燃燒裝置包括相連的分流三通閥1和敞開(kāi)的水桶12，分流三通閥1和合流三通閥2相連，敞開(kāi)的水桶12與第二密閉錐形瓶11相連，整個(gè)裝置的連接管路為316L不銹鋼管。合流三通閥2的兩個(gè)入口分別為硅烷氣體和線路一氮?dú)?，合流三通閥2的出口和過(guò)濾器4相連。?