[實用新型]為檢測硅烷氣體中氯化物含量進行硅烷采樣的裝置

有效

• 申請號: 201420229222.6
• 申請日: 2014-05-07
• 公開（公告）號: CN203837975U
• 公開（公告）日: 2014-09-17
• 發明（設計）人: 陳德偉;方鑫建;趙斌
• 申請（專利權）人: 浙江中寧硅業有限公司
• 主分類號: G01N1/22
• 分類號: G01N1/22
• 代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司 33200
• 代理人: 張法高

1.一種為檢測硅烷氣體中氯化物含量進行硅烷采樣的裝置，其特點在于，包括硅烷的減壓過濾裝置、硅烷的吸收消解裝置、硅烷的稀釋防燃燒裝置，硅烷的減壓過濾裝置包括順次相連的減壓閥（3）、合流三通閥（2）、過濾器（4），硅烷的吸收消解裝置包括流量計（5）、止回閥（6）、密閉消解瓶（7）、第一磁力攪拌器（8）、第二磁力攪拌器（9）、第一密閉錐形瓶（10）、第二密閉錐形瓶（11），所述的流量計（5）、止回閥（6）、密閉消解瓶（7）、第一密閉錐形瓶（10）、第二密閉錐形瓶（11）順次相連，第一磁力攪拌器（8）、第二磁力攪拌器（9）上分別設置有第一密閉錐形瓶（10）、第二密閉錐形瓶（11），硅烷的稀釋防燃燒裝置包括相連的分流三通閥（1）和敞開的水桶（12），分流三通閥（1）和合流三通閥（2）相連，敞開的水桶（12）與第二密閉錐形瓶（11）相連，整個裝置的連接管路為316L不銹鋼管。

2.根據權利要求1所述的為檢測硅烷氣體中氯化物含量進行硅烷采樣的裝置，其特征在于所述的密閉消解瓶（7）、第一磁力攪拌器（8）、第二磁力攪拌器（9）、第一密閉錐形瓶（10）、第二密閉錐形瓶（11）設置在通風柜（13）內。

3.根據權利要求1所述的為檢測硅烷氣體中氯化物含量進行硅烷采樣的裝置，其特征在于所述的第一密閉錐形瓶（10）和第二密閉錐形瓶（11）的容積均為2000ml。

4.根據權利要求1所述的為檢測硅烷氣體中氯化物含量進行硅烷采樣的裝置，其特征在于所述的第一密閉錐形瓶（10）、第二密閉錐形瓶（11）內各盛有質量百分比濃度為10%的氫氧化鉀溶液2000ml。

5.根據權利要求1所述的為檢測硅烷氣體中氯化物含量進行硅烷采樣的裝置，其特征在于所述的密閉消解瓶（7）內盛有電阻率大于18MΩ·cm的高純去離子水。