[實用新型]一種用于晶圓的存儲腔裝置

有效

• 申請號: 201420225691.0
• 申請日: 2014-05-05
• 公開（公告）號: CN203826358U
• 公開（公告）日: 2014-09-10
• 發明（設計）人: 牛正基;奚曉明;吳新江;鄧義彬
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/67
• 代理公司: 上海光華專利事務所 31219
• 代理人: 李儀萍

1.一種用于晶圓的存儲腔裝置，其特征在于，所述用于晶圓的存儲腔裝置至少包括：

存儲腔及位于該存儲腔底部并采用底柱支撐的底層托盤以及位于該底層托盤上的至少一層上層托盤；所述上層托盤由設置在所述底層托盤上的至少兩個支柱支撐；

所述底層和上層托盤上表面的左右兩邊分別設有至少兩個曲孔；所述每個曲孔中卡有高于該托盤上表面的曲釘；所述左右兩邊每一邊的所述曲釘相互連接為一體；

上層托盤中的所述曲孔通過所述支柱與位于其下層的托盤的曲孔貫通；所述底層托盤的曲孔通過所述底柱以及所述存儲腔底部與連接在所述存儲腔外部的一抽氣管貫通。

2.根據權利要求1所述的用于晶圓的存儲腔裝置，其特征在于：所述裝置還包括與所述存儲腔相連接的充氣管,所述充氣管中的氣體為惰性氣體。

3.根據權利要求2所述的用于晶圓的存儲腔裝置，其特征在于：所述充氣管中的惰性氣體為氮氣。

4.根據權利要求1所述的用于晶圓的存儲腔裝置，其特征在于：所述上層托盤或底層托盤的曲孔以及曲釘的個數分別七個，所述每個曲孔中有一個曲釘；所述上層托盤或底層托盤的左右兩邊分別有三個和四個曲釘。

5.根據權利要求4所述的用于晶圓的存儲腔裝置，其特征在于：所述每個曲釘沿紙面所在平面的截面形狀為L型。

6.根據權利要求1所述的用于晶圓的存儲腔裝置，其特征在于：所述每個曲釘高于所述托盤上表面的高度為1毫米至3毫米。

7.根據權利要求1所述的用于晶圓的存儲腔裝置，其特征在于：所述上層或底層托盤的曲孔之間的貫通以及所述底層托盤曲孔與所述存儲腔底柱以及所述存儲腔體之間的貫通是通過孔徑為3毫米至6毫米的曲線通孔形成的貫通。

8.根據權利要求1所述的用于晶圓的存儲腔裝置，其特征在于：所述曲釘的材質為陶瓷。

9.根據權利要求1所述的用于晶圓的存儲腔裝置，其特征在于：所述托盤的材質為鋁。