[實(shí)用新型]多孔金屬真空吸附工作盤(pán)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420209219.8
• 申請(qǐng)日: 2014-04-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN203983251U
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-12-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李豐
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 李豐
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/683
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/683
• 代理公司: 無(wú)
• 代理人: 無(wú)

1.一種多孔金屬真空吸附工作盤(pán)，其特征在于，所述多孔金屬真空吸附工作盤(pán)包括多孔金屬盤(pán)、金屬底座和定位固定塊；

所述金屬底座為環(huán)狀，多孔金屬盤(pán)位于環(huán)狀金屬底座的內(nèi)側(cè)，定位固定塊位于金屬底座的外側(cè)；

所述定位固定塊上設(shè)置有定位凹槽，定位凹槽包括一個(gè)第一凹槽和兩個(gè)第二凹槽，兩個(gè)第二凹槽位于第一凹槽的兩側(cè)。