[實用新型]一種基板位置校準裝置

有效

• 申請號: 201420205908.1
• 申請日: 2014-04-24
• 公開（公告）號: CN203839359U
• 公開（公告）日: 2014-09-17
• 發明（設計）人: 艾青南;張賀攀;王超;孟健
• 申請（專利權）人: 北京京東方光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 李迪

技術領域

本實用新型涉及一種位置校準裝置，特別涉及可改善基板成膜均勻性的位置校準裝置。

背景技術

在TFT-LCD制造過程中,玻璃需要多次往返于各相對獨立的生產設備之間，由機械手完成對每張玻璃的傳送轉換，在這一過程中，由于誤差原因和不同生產設備的差異所在，致使每張玻璃在進入不同反應或傳送單元時的位置都有差異，這就給產品造成工藝性不良埋下隱患。尤其是玻璃基板在反應腔體鍍膜的過程中，由于設備結構特點和工藝要求提出沉積設計(Deposition?design)這一概念，即膜層邊緣與玻璃邊緣的距離差，這一參數對后續的掩膜及刻蝕都有決定性的影響。如果這一距離差過大或者四周的距離差偏差嚴重，將直接影響邊緣的面板成膜的均勻性，直接導致產品發生不良。

目前決定玻璃沉積設計的關鍵部件是成膜設備中的陰影框(Shadow?frame)，它的作用是在玻璃鍍膜過程中其邊緣與膜層邊緣保持固定距離差，同時也防止玻璃邊緣在高頻電壓作用下發生尖端放電現象。目前這一空余量值在5-6mm(膜層邊緣到玻璃邊緣)。

實際操作的問題在于，現有的陰影框只起到對玻璃的遮蓋作用，是否能夠讓玻璃四周的空余量都固定的決定因素完全取決于負責傳送作用的機械手臂移動誤差和玻璃自身。這就使沉積設計要求完全處于被動，而且更為嚴重的是當玻璃位置偏移嚴重而導致陰影框無法蓋住玻璃時，就會導致電弧效應(Arcing)，使執行鍍膜的玻璃和設備自身造成損壞。

有鑒于此，特提出本實用新型。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種可用于基板傳送過程中對其位置進行校準的裝置，該裝置避免了真空高溫腔體中基板位置校正缺失的現象。

為實現上述目的，本實用新型采用如下技術方案：

一種基板位置校準裝置，包括可升降式載臺及其伺服電機、相對設于載臺上方的陰影框及位于載臺下方的支撐系統，所述支撐系統包括一水平支架和垂直設于支架上且穿過載臺的至少一個支撐桿，所述陰影框的下方固定有至少一對校準滾輪；所述載臺為凸型的雙層結構，上層載臺的尺寸與基板一致，上下兩層的寬度差均一且大于校準滾輪的直徑。

其中，所述校準滾輪的個數為2～16個，成對均勻設置在陰影框四周。

本實用新型所述的位置校準裝置，所述校準滾輪的直徑與上層載臺的厚度比為0.8-1.2:1，優選1:1。

其中，所述校準滾輪通過彈性結構固定至陰影框。

本實用新型所述的位置校準裝置，所述校準滾輪為陶瓷校準滾輪。

本實用新型所述的位置校準裝置，所述的支撐桿的數量為8-16個，優選12個。

本實用新型所述的位置校準裝置，所述載臺上設有供支撐桿穿過的T型凹槽，載臺上升至與支撐桿齊平后帶動其繼續上升至校準滾輪下方。

本實用新型所述的位置校準裝置，所述陰影框遮蓋基板邊緣的寬度為2-4mm。

本實用新型所述的位置校準裝置，所述陰影框為與所述載臺一同升降的活動結構。

采用上述技術方案，本實用新型得到了一種全新結構的基板位置校準裝置，該裝置結構簡單，且能夠準確快速地實現基板的位置校準，避免避免玻璃基板由于校正缺失導致玻璃基板發生破碎或者出現工藝不良等情況。

附圖說明

圖1為本實用新型所述位置校準裝置的側視圖及其相應的俯視圖；

圖2為支撐桿支撐基板的狀態示意圖；

圖3為載臺上升支撐基板的狀態示意圖；

圖4為基板位置校準的狀態示意圖；

圖5為位置校準前偏離的基板及校準裝置的俯視圖；

其中，1為載臺；1-1為上層載臺；1-2為下層載臺；2為伺服電機；3為陰影框；4-1為支架；4-2為支撐桿；5為校準滾輪；6為基板。

具體實施方式

本實用新型根據現有設備工作流程及結構特點設計出如圖1所示的基板位置校正裝置。該裝置能夠在基板鍍膜過程中對其進行自動位置校正，彌補了真空高溫腔體中玻璃基板位置校正缺失的空白。

本實用新型提供了一種基板位置校準裝置，包括可升降式載臺及其伺服電機、相對設于載臺上方的陰影框及位于載臺下方的支撐系統，所述支撐系統包括一水平支架和垂直設于支架上穿過載臺的至少一個支撐桿，所述陰影框的下方固定有至少一對校準滾輪；所述載臺為凸型的雙層結構，上層載臺的尺寸與基板一致，上下兩層的寬度差均一且大于校準滾輪的直徑。