[實(shí)用新型]一種基板位置校準(zhǔn)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420205908.1
• 申請(qǐng)日: 2014-04-24
• 公開（公告）號(hào): CN203839359U
• 公開（公告）日: 2014-09-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 艾青南;張賀攀;王超;孟健
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京京東方光電科技有限公司;京東方科技集團(tuán)股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/68
• 分類號(hào): H01L21/68
• 代理公司: 北京路浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 李迪

1.一種基板位置校準(zhǔn)裝置，包括可升降式載臺(tái)及其伺服電機(jī)、相對(duì)設(shè)于載臺(tái)上方的陰影框及位于載臺(tái)下方的支撐系統(tǒng)，所述支撐系統(tǒng)包括一水平支架和垂直設(shè)于支架上且穿過載臺(tái)的至少一個(gè)支撐桿，其特征在于：所述陰影框的下方固定有至少一對(duì)校準(zhǔn)滾輪；所述載臺(tái)為凸型的雙層結(jié)構(gòu)，上層載臺(tái)的尺寸與基板一致，上下兩層的寬度差均一且大于校準(zhǔn)滾輪的直徑。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的位置校準(zhǔn)裝置，其特征在于：所述校準(zhǔn)滾輪的個(gè)數(shù)為2～16個(gè)，成對(duì)均勻設(shè)置在陰影框四周。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的位置校準(zhǔn)裝置，其特征在于：所述校準(zhǔn)滾輪的直徑與上層載臺(tái)的厚度比為0.8-1.2:1。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的位置校準(zhǔn)裝置，其特征在于：所述校準(zhǔn)滾輪通過彈性結(jié)構(gòu)固定至陰影框。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的位置校準(zhǔn)裝置，其特征在于：所述校準(zhǔn)滾輪為陶瓷校準(zhǔn)滾輪。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的位置校準(zhǔn)裝置，其特征在于：所述的支撐桿的數(shù)量為8-16個(gè)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1或6所述的位置校準(zhǔn)裝置，其特征在于：所述載臺(tái)上設(shè)有供支撐桿穿過的T型凹槽，載臺(tái)上升至與支撐桿齊平后可帶動(dòng)其繼續(xù)上升至校準(zhǔn)滾輪下方。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的位置校準(zhǔn)裝置，其特征在于：所述陰影框遮蓋基板邊緣的寬度為2-4mm。

9.根據(jù)權(quán)利要求1或8所述的位置校準(zhǔn)裝置，其特征在于：所述陰影框?yàn)榕c所述載臺(tái)一同升降的活動(dòng)結(jié)構(gòu)。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的位置校準(zhǔn)裝置，其特征在于：所述基板為玻璃基板或硅片。