[實用新型]一種驅(qū)動電極板、電容上極板分離式RF MEMS開關(guān)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201420189983.3 | 申請日： | 2014-04-18 |
| 公開（公告）號： | CN203910690U | 公開（公告）日： | 2014-10-29 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 楊俊民 | 申請（專利權(quán)）人： | 蘇州錕恩電子科技有限公司 |
| 主分類號： | H01H59/00 | 分類號： | H01H59/00 |
| 代理公司： | 南京縱橫知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215153 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 驅(qū)動 極板 電容 分離 rf mems 開關(guān) | ||
1.一種驅(qū)動電極板、電容上極板分離式RF?MEMS開關(guān)，包括襯底、位于襯底上的緩沖介質(zhì)層、接地線、共面波導(dǎo)傳輸線、錨點、絕緣介質(zhì)層、彈性折疊梁、上電極，所述接地線、共面波導(dǎo)傳輸線、錨點設(shè)于緩沖介質(zhì)層上，所述絕緣介質(zhì)層覆于所述共面波導(dǎo)傳輸線上，所述上電極與所述絕緣介質(zhì)層留有間隙，其特征在于：所述上電極分為電容上極板和位于電容上極板兩端的驅(qū)動電極板，所述驅(qū)動電極板和電容上極板之間通過兩套彎曲形狀為n形、彎曲個數(shù)為1個的彈性折疊梁連接；所述驅(qū)動電極板通過彎曲形狀為n形、彎曲個數(shù)為2個、套數(shù)為2個的彈性折疊梁與錨點連接。
2.如權(quán)利要求1所述的一種驅(qū)動電極板、電容上極板分離式RF?MEMS開關(guān)，其特征在于：所述襯底材料選用高阻硅，電阻率大于1000Ω·cm，緩沖介質(zhì)層材料為SiO2，絕緣介質(zhì)層材料為Si3N4。
3.如權(quán)利要求2所述的一種驅(qū)動電極板、電容上極板分離式RF?MEMS開關(guān)，其特征在于：所述緩沖介質(zhì)層厚為1μm,所述絕緣介質(zhì)層厚度為150nm。
4.如權(quán)利要求1所述的一種驅(qū)動電極板、電容上極板分離式RF?MEMS開關(guān)，其特征在于：所述驅(qū)動電極板和電容上極板、所述彈性折疊梁材料為Si/Al合金。
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