[實用新型]一種驅動電極板、電容上極板分離式RF MEMS開關

有效

• 申請號: 201420189983.3
• 申請日: 2014-04-18
• 公開（公告）號: CN203910690U
• 公開（公告）日: 2014-10-29
• 發明（設計）人: 楊俊民
• 申請（專利權）人: 蘇州錕恩電子科技有限公司
• 主分類號: H01H59/00
• 分類號: H01H59/00
• 代理公司: 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224
• 代理人: 董建林

1.一種驅動電極板、電容上極板分離式RF?MEMS開關，包括襯底、位于襯底上的緩沖介質層、接地線、共面波導傳輸線、錨點、絕緣介質層、彈性折疊梁、上電極，所述接地線、共面波導傳輸線、錨點設于緩沖介質層上，所述絕緣介質層覆于所述共面波導傳輸線上，所述上電極與所述絕緣介質層留有間隙，其特征在于：所述上電極分為電容上極板和位于電容上極板兩端的驅動電極板，所述驅動電極板和電容上極板之間通過兩套彎曲形狀為n形、彎曲個數為1個的彈性折疊梁連接；所述驅動電極板通過彎曲形狀為n形、彎曲個數為2個、套數為2個的彈性折疊梁與錨點連接。

2.如權利要求1所述的一種驅動電極板、電容上極板分離式RF?MEMS開關，其特征在于：所述襯底材料選用高阻硅，電阻率大于1000Ω·cm，緩沖介質層材料為SiO₂，絕緣介質層材料為Si₃N₄。

3.如權利要求2所述的一種驅動電極板、電容上極板分離式RF?MEMS開關，其特征在于：所述緩沖介質層厚為1μm,所述絕緣介質層厚度為150nm。

4.如權利要求1所述的一種驅動電極板、電容上極板分離式RF?MEMS開關，其特征在于：所述驅動電極板和電容上極板、所述彈性折疊梁材料為Si/Al合金。