[實用新型]真空泵抽氣裝置有效
| 申請號： | 201420185209.5 | 申請日： | 2014-04-16 |
| 公開（公告）號： | CN203796528U | 公開（公告）日： | 2014-08-27 |
| 發明（設計）人： | 周詩鐸;王楊;秦國強;趙慶;邊逸軍 | 申請（專利權）人： | 武漢新芯集成電路制造有限公司 |
| 主分類號： | F04B39/12 | 分類號： | F04B39/12 |
| 代理公司： | 上海申新律師事務所 31272 | 代理人： | 吳俊 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 真空泵 裝置 | ||
1.一種真空泵抽氣裝置，應用于半導體器件的制備工藝中，其特征在于，所述裝置包括：至少一機臺、管道和若干真空泵；
每個所述機臺均通過所述管道分別與所述若干真空泵相連，以進行抽氣操作；
其中，與所述管道連接的真空泵的數量大于所述機臺的數量。
2.如權利要求1所述的一種真空泵抽氣裝置，其特征在于，所述管道包括若干第一支管道，若干第二支管道和一主管道。
3.如權利要求1所述的一種真空泵抽氣裝置，其特征在于，每個所述真空泵均通過一個所述第一支管道與所述主管道連通,每個所述機臺均通過一個所述第二支管道與所述主管道連通。
4.如權利要求1所述的一種真空泵抽氣裝置，其特征在于，所述機臺包括反應管、主閥，所述反應管通過所述機臺的一內部管路連接所述主閥。
5.如權利要求4所述的一種真空泵抽氣裝置，其特征在于，所述主閥上設有閥門開關，通過控制所述閥門開關的角度來控制抽氣速度。
6.如權利要求1所述的一種真空泵抽氣裝置，其特征在于，所述主閥與所述真空泵的連接管道上還設有一單向閥門。
7.如權利要求1所述的一種真空泵抽氣裝置，其特征在于，每個所述機臺均通過一個第二支管道以并聯的方式與所述主管道連通。
8.如權利要求1所述的一種真空泵抽氣裝置，其特征在于，每個所述真空泵均通過一個第一支管道以并聯的方式與所述主管道連通。
9.如權利要求1所述的一種真空泵抽氣裝置，其特征在于，所述真空泵的數量比所述機臺的數量多一個。
10.如權利要求1所述的一種真空泵抽氣裝置，其特征在于，所述第一支管道的數量與所述真空泵的數量相同，所述第二支管道的數量與所述機臺的數量相同。
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