[實用新型]裝入鍍膜機的多工位制作圓周分光器的自動掩模夾具

有效

• 申請號: 201420173143.8
• 申請日: 2014-04-11
• 公開（公告）號: CN203768442U
• 公開（公告）日: 2014-08-13
• 發明（設計）人: 黃正義;高德發;吳永剛;王佩林;覃紅
• 申請（專利權）人: 上海滬國科學儀器有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04
• 代理公司: 北京匯信合知識產權代理有限公司 11335
• 代理人: 孫民興

技術領域

本實用新型涉及一種光學產品加工機械，更具體地說，本實用新型涉及一種裝入鍍膜機的多工位制作圓周分光器的自動掩模夾具。

背景技術

目前通常光譜檢測儀所用的分光手段是采用光柵分光。通過機械裝置轉動光柵以實現對光譜波長的分光。但由于光柵機械掃描方法速度慢，難以滿足高速全光譜測量需求。現也有用平場光柵（無需轉動）分光，并在其后放置級濾光片的做法。但由于信號接收采用配套的CCD光電檢測器，由于該檢測器的靈敏度與CCD曝光時間成正比，故相對而言，其靈敏度要比光電倍增管類型的信號接收器降低了約2至3個數量級。

采用圓周分光器，可將該分光器高速旋轉，當在其后端設置了光電倍增管檢測器后，即可對光譜信號進行快速高靈敏度的檢測。生產圓周分光器需要特定而復雜的設備，而其中的工件架是制作高質量圓周分光器的關鍵。

發明內容

本實用新型發明的目的是克服現有技術不能實現圓周分光器生產制作的缺陷，而提供了一種裝入鍍膜機的多工位制作圓周分光器的自動掩模夾具。

本實用新型發明的目的是通過以下技術方案實現的：

????一種裝入鍍膜機的多工位制作圓周分光器的自動掩模夾具，包括機架、主軸電機、輔軸電機、主軸、輔軸、齒輪、軸承、公轉盤和掩模板。所述機架內設有主軸，所述主軸外設有輔軸，主軸和輔軸均呈筒狀相套，主軸上端設有齒圈、其下端連接公轉盤，所述輔軸的上下兩端均設有齒圈，所述主軸和輔軸均通過軸承與機架連接，所述機架分別設有主軸電機和輔軸電機，所述主軸電機和輔軸電機均通過齒輪與主軸和輔軸上端的齒圈嚙合，所述公轉盤設有多個均布的鍍膜工件工位，所述鍍膜工件工位通過其小齒輪與輔軸下端的齒圈嚙合，每個工位有齒輪軸連帶掩模板。

????本實用新型發明的目的還可以通過下述技術方案實現的：

????所述主軸電機帶動裝有多個鍍膜工件工位的公轉盤繞其軸心公轉。所述輔軸電機帶動輔軸使多個鍍膜工件工位上的掩模板繞公轉盤軸心轉動的同時又能繞鍍膜工件工位自轉。所述主軸和輔軸傳動構成行星差動傳動機構。所述鍍膜工件工位由支架、軸承座、滾花螺母、齒輪軸、小齒輪、軸和掩模板連接構成，所述支架呈Z字形固定在公轉盤的外圈上，支架的端部設有固定孔，所述軸承座穿過公轉盤的通孔且與公轉盤連接，齒輪座內設有齒輪軸，所述齒輪軸通過軸承與軸承座連接，所述軸承座的底部連接滾花螺母，所述齒輪軸的上端連接小齒輪，該小齒輪與輔軸下端的齒圈嚙合，齒輪軸的下端連接掩模板。所述主軸電機齒輪與主軸齒圈的齒數比為28∶140。所述輔軸電機齒輪與輔軸齒圈的齒數比為30∶300。所述輔軸齒圈與鍍膜工件工位小齒輪的齒數比為300∶90（所有齒數的速比可視鍍膜機真空腔的大小而變）。

與現有技術相比，本實用新型具有以下有益效果：

1.通過自動掩模工裝夾具公轉盤的公轉，可實現在鍍膜基片上鍍制膜層的均勻性；通過掩模板的不同旋轉位置，可實現鍍膜基片上不同位置的膜厚控制，從而實現透射光譜的波長可逐漸隨圓周展開變化實現分光，該分光器適合應用于各種高速高靈敏度在線光譜檢測儀。

2.多工位的同時加工，極大提高了生產效率，且產品的一致性好、質量高。

附圖說明

圖1為裝入鍍膜機的多工位制作圓周分光器的自動掩模夾具示意圖。

圖中：機架1、主軸電機2、輔軸電機3、主軸4、輔軸5、齒輪6、軸承7、公轉盤8、掩模板9、軸承座10、滾花螺母11、齒輪軸12、支架13、軸14、小齒輪15、齒圈16-1、16-2、16-3。

具體實施方式

下面將結合附圖和實施例對本實用新型的實質性內容作進一步詳細描述：