[實用新型]裝入鍍膜機的多工位制作圓周分光器的自動掩模夾具

有效

• 申請號: 201420173143.8
• 申請日: 2014-04-11
• 公開（公告）號: CN203768442U
• 公開（公告）日: 2014-08-13
• 發明（設計）人: 黃正義;高德發;吳永剛;王佩林;覃紅
• 申請（專利權）人: 上海滬國科學儀器有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04
• 代理公司: 北京匯信合知識產權代理有限公司 11335
• 代理人: 孫民興

1.一種裝入鍍膜機的多工位制作圓周分光器的自動掩模夾具，包括機架、主軸電機、輔軸電機、主軸、輔軸、齒輪、軸承、公轉盤和掩模板，其特征在于：所述機架內設有主軸，所述主軸外設有輔軸，主軸和輔軸均呈筒狀相套，主軸上端設有齒圈、其下端連接公轉盤，所述輔軸的上下兩端均設有齒圈，所述主軸和輔軸均通過軸承與機架連接，所述機架分別設有主軸電機和輔軸電機，所述主軸電機和輔軸電機均通過齒輪與主軸和輔軸上端的齒圈嚙合，所述公轉盤設有多個均布的鍍膜工件工位，所述鍍膜工件工位通過其小齒輪與輔軸下端的齒圈嚙合，每個工位有齒輪軸連接掩模板。

2.根據權利要求1所述的裝入鍍膜機的多工位制作圓周分光器的自動掩模夾具，其特征在于：所述主軸電機帶動裝有多個鍍膜工件工位的公轉盤繞其軸心公轉。

3.根據權利要求1所述的裝入鍍膜機的多工位制作圓周分光器的自動掩模夾具，其特征在于：所述輔軸電機帶動輔軸使多個鍍膜工件工位各自的掩模板能除繞公轉盤軸心轉動外同時又繞該工位自轉。

4.根據權利要求1所述的裝入鍍膜機的多工位制作圓周分光器的自動掩模夾具，其特征在于：所述主軸和輔軸傳動構成行星差動傳動機構。

5.根據權利要求1所述的裝入鍍膜機的多工位制作圓周分光器的自動掩模夾具，其特征在于：所述鍍膜工件工位由支架、軸承座、滾花螺母、齒輪軸、小齒輪及掩模板等連接構成，所述支架呈Z字形固定在公轉盤的外圈上，支架的端部設有固定孔，所述軸承座穿過公轉盤的通孔且與公轉盤連接，齒輪座內設有齒輪軸，所述齒輪軸通過軸承與軸承座連接，所述軸承座的底部裝有用于固定工件的滾花螺母，所述齒輪軸的上端連接小齒輪，該小齒輪與輔軸下端的齒圈嚙合，所述齒輪軸的下端連接掩模板。

6.根據權利要求1所述的裝入鍍膜機的多工位制作圓周分光器的自動掩模夾具，其特征在于：所述主軸電機齒輪與主軸齒圈的齒數比為28∶140。

7.根據權利要求1所述的裝入鍍膜機的多工位制作圓周分光器的自動掩模夾具，其特征在于：所述輔軸電機齒輪與輔軸齒圈的齒數比為30∶300.

根據權利要求1所述的裝入鍍膜機的多工位制作圓周分光器的自動掩模夾具，其特征在于：所述輔軸齒圈與鍍膜工件工位小齒輪的齒數比為300∶90。