[實用新型]用于承載器的襯體有效
| 申請號: | 201420165359.X | 申請日: | 2014-04-08 |
| 公開(公告)號: | CN204155915U | 公開(公告)日: | 2015-02-11 |
| 發明(設計)人: | 劉哲偉;王旭;孫衛東;張小永 | 申請(專利權)人: | 北京市塑料研究所 |
| 主分類號: | H01L21/683 | 分類號: | H01L21/683;H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 100009 *** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 用于 承載 | ||
1.一種用于承載器的襯體,其具有以下結構:
一條主桿,以及若干條副桿,每條副桿的一端與主桿的同側連接。
2.如權利要求1所述的襯體,其特征在于該襯體由彈性體制成。
3.如權利要求2所述的襯體,其特征在于該襯體由橡膠彈性體或塑料彈性體制成。
4.如權利要求3所述的襯體,其特征在于該襯體由乙丙橡膠或乙烯-丙烯彈性體制成。
5.如權利要求1所述的襯體,其特征在于,其主桿的橫截面為多邊形。
6.如權利要求5所述的襯體,其特征在于,其主桿的橫截面為三角形。
7.如權利要求1所述的襯體,其特征在于,其主桿的長度與要裝入的承載器內長匹配,其主桿的寬度小于要裝入的承載器底槽的長度,其主桿的高度僅需使裝入的硅片上緣不凸出于承載器上表面即可。
8.如權利要求1所述的襯體,其特征在于,其副桿的長度小于要裝入承載器底槽的長度,其副桿的寬度與要裝入承載器底槽的長度匹配。
9.如權利要求1所述的襯體,其特征在于,其副桿的橫截面為多邊形。
10.如權利要求9所述的襯體,其特征在于,其副桿的橫截面為矩形。
11.如權利要求10所述的襯體,其特征在于,其副桿的橫截面為工字形。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





