[實用新型]渦旋真空泵

有效

• 申請號: 201420149191.3
• 申請日: 2014-03-28
• 公開（公告）號: CN204082539U
• 公開（公告）日: 2015-01-07
• 發明（設計）人: J.卡爾霍恩
• 申請（專利權）人: 安捷倫科技有限公司
• 主分類號: F04C18/02
• 分類號: F04C18/02;F04C28/28
• 代理公司: 北京市嘉元知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11484
• 代理人: 陳靜

技術領域

本實用新型涉及渦旋泵，該渦旋泵包括具有嵌套的渦旋葉片的盤渦旋、以及分別提供盤渦旋的其中一個的渦旋葉片的尖端和另外一個盤渦旋的盤之間的密封的尖端密封。本實用新型還涉及維持渦旋真空泵的方法，包括評估泵從而確定泵的尖端密封是否應該替換。

背景技術

渦旋泵是一種泵，其包括具有螺旋定渦旋葉片的定盤渦旋和具有螺旋動渦旋葉片的動盤渦旋。定與動渦旋葉片以間隙和預定相對角位置嵌套。

動盤渦旋以及由此動渦旋葉片聯接至偏心驅動機構并由其驅動，從而繞通過定渦旋葉片軸向中心的泵的縱向軸線運轉。由于這種環繞運動，一系列腔被限定在渦旋葉片之間。動渦旋葉片的環繞運動還使得腔在泵頭部組件內有效地移動，從而使得腔選擇性地并且順次地與渦旋泵的入口和出口開放連通，而且腔的體積隨著動渦旋葉片移動而變化。

更特別地，在這種渦旋泵的實例中，相對于定渦旋葉片的動渦旋葉片的運動使得腔的體積與泵的出口封鎖并且與泵的入口開放連通從而擴張。因此，流體通過入口被吸入腔中。然后腔移動到它與泵的入口封鎖并且與泵的出口開放連通的位置，在此期間腔的體積減小。這樣，腔中的流體受壓然后通過泵的出口排出。在渦旋真空泵的情況下，泵的入口連接至一系統，例如腔室，流體在渦旋泵的幫助下從該系統被抽空。

此外，渦旋泵的每個螺旋的渦旋葉片具有很多圈或“卷”。螺旋的確切形狀和卷的數量指示在上述壓縮過程期間在任何給定事件順序地形成的腔的數量。

在這方面，動定渦旋葉片的側壁表面不互相接觸來保持腔。相反地，在腔已經與泵的入口脫離開放連通以后，在各個腔的端部的側部表面之間維持微小的間隙。另外，螺旋的渦旋葉片的尖端和相對的盤由各個腔頂部和底部的微小軸向間隙間隔開。

油可用來產生定盤渦旋葉片和動盤渦旋葉片之間的密封，即，形成界定腔和渦旋葉片的密封。另一方面，特定類型的渦旋泵，被稱作“干”渦旋泵，避免使用油，這是因為油會污染泵所作用的流體。干渦旋泵依靠嵌套的渦旋葉片的側壁表面之間保持的小徑向間隙和用于密封各個腔的頂部和底部的尖端密封代替油。

關于尖端密封，每個尖端密封裝在沿著渦旋葉片的分別一個的尖端(軸向端部)的長度上延伸的溝槽中(因此溝槽也具有螺旋的形式)從而插在盤渦旋的分別一個的渦旋葉片的尖端和盤渦旋的另外一個的盤之間。這種尖端密封隨時間推移磨損，因此需要周期性替換。

目前判斷尖端密封是否需要替換通常要求用戶停止渦旋真空泵所連接的系統中正在進行的過程、斷開泵與系統的連接、將真空壓力計安裝到泵、并且運行泵直到其最終壓力確定，這可能耗費至少一小時。在很多情況下，泵的部件有來自系統的吸收的過程氣體，不然就是泵加載有過程氣體。這樣，泵就必須“放氣”，這個放氣過程顯著增加了確定最終壓力花的時間。在任何情況下，一旦最終壓力確定，流體的壓力值被讀取，并且這個值與代表泵的理想最終壓力的參考值比較，從而確定越過尖端密封的內部泄漏量，從而確定尖端密封是否需要替換。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種渦旋泵，通過該渦旋泵所具有的裝置可以準確評估泵的尖端密封的狀況。

另外，本實用新型的目的是提供一種能夠準確評估渦旋泵的尖端密封的方法。

本實用新型的另一目的是提供一種渦旋泵，通過這種渦旋泵技師或用戶能評估泵的尖端密封的狀況而不需要將泵與連接的系統斷開連接和/或不需要進行冗長的抽氣過程。

本實用新型的又一目的是提供一種操作渦旋泵的方法，包括一過程，通過該過程泵的尖端密封被評估而不用將泵與連接使用的系統斷開連接和/或不用進行冗長的抽氣過程。

根據本實用新型的第一方面，提供一種渦旋泵，包括具有泵入口的入口部和包括泵出口的排出部，流體由泵吸入所述泵入口中，流體通過所述泵出口從泵排出；構架；固定于構架的定盤渦旋；動盤渦旋；插在定盤和動盤渦旋其中一個的渦旋葉片的軸向端部與定盤和動盤渦旋的另外一個的盤之間的尖端密封；由構架支承的偏心驅動機構，并且動盤渦旋聯接于偏心驅動機構從而在圍繞泵的縱向軸線的軌道上由偏心驅動機構驅動；壓載氣體供給系統；以及控制裝置，使用壓載氣體供給系統的運行來確定尖端密封是否需要替換。

定渦旋葉片具有螺旋的形式，包括多個從定盤的中心部發出的連續的卷(wraps)，動渦旋葉片具有螺旋的形式，包括多個從動盤的中心發出的連續的卷。動定渦旋葉片嵌套，尖端密封插在定盤和動盤渦旋其中一個的渦旋葉片的軸向端部與定盤和動盤渦旋的另外一個的盤之間。