[實用新型]渦旋真空泵

有效

• 申請號: 201420149191.3
• 申請日: 2014-03-28
• 公開（公告）號: CN204082539U
• 公開（公告）日: 2015-01-07
• 發明（設計）人: J.卡爾霍恩
• 申請（專利權）人: 安捷倫科技有限公司
• 主分類號: F04C18/02
• 分類號: F04C18/02;F04C28/28
• 代理公司: 北京市嘉元知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11484
• 代理人: 陳靜

1.一種渦旋泵包括：?

具有泵入口的入口部和包括泵出口的排出部，流體由泵吸入所述泵入口中，流體通過所述泵出口從泵排出；?

構架；?

固定于構架并且包括定盤的定盤渦旋，和從定盤突出的定渦旋葉片；?

包括動盤的動盤渦旋，和從動盤軸向地突出的動渦旋葉片，?

定渦旋葉片具有螺旋的形式，包括多個從定盤的中心部發出的連續的卷，動渦旋葉片具有螺旋的形式，包括多個從動盤的中心發出的連續的卷，并且動定渦旋葉片嵌套；?

插在定盤和動盤渦旋其中一個的渦旋葉片的軸向端部與定盤和動盤渦旋的另外一個的盤之間的尖端密封；?

由構架支承的偏心驅動機構，并且動盤渦旋聯接于偏心驅動機構從而在圍繞泵的縱向軸線的軌道上由偏心驅動機構驅動，?

其中在動盤渦旋相對于定盤渦旋的軌道運動期間，一系列腔被同時地限定在嵌套的定渦旋葉片和動渦旋葉片之間，一系列腔構成泵的壓縮機構，各個腔選擇性地并且順次地與泵入口和泵出口開放連通，被限制在腔中的流體受到壓縮的壓縮過程發生在腔與泵入口開放連通的時間點和腔與泵出口開放連通的之后時間點之間；?

壓載氣體供給系統，用來相對于流體流過泵的方向在靠近壓縮機構下游端的位置供給壓載氣體流到泵的壓縮階段中；以及?

控制裝置，配置成基于當壓載氣體供給系統不能使用并且不供給壓載氣體到泵的壓縮機構中時沿著流動方向的位置泵中檢測的流體的第一壓強和當壓載氣體供給系統能夠使用并且供給壓載氣體到壓縮機構中時在所述位置檢測的流體的壓強來計算監控壓強值，?

從而對比監控壓強值和參考壓強值；并且?

當監控壓強值和參考壓強至少相差預定量時，輸出指示需要替換尖端密封的信號。?

2.根據權利要求1所述的渦旋泵，其特征在于，控制裝置包括安裝于泵入口的真空壓力計和運轉地連接于真空壓力計的控制器，并且控制裝置配?置成基于當壓載氣體供給系統不能使用時由真空壓力計在泵入口檢測的流體壓強和當壓載氣體供給系統能夠使用并且供給壓載氣體到壓縮機構中時由真空壓力計在泵入口檢測的流體的壓強來計算監控壓強值。?

3.根據權利要求2所述的渦旋泵，其特征在于，控制器也運轉地連接于壓載氣體供給系統，從而選擇性地使壓載氣體供給系統能夠使用和不能使用。?

4.根據權利要求1所述的渦旋泵，其特征在于，壓載氣體供給系統包括連接于泵的壓縮階段的壓載供給氣體的源，和在壓載供給氣體和壓縮階段之間共線設置的至少一個閥。?

5.根據權利要求4所述的渦旋泵，其特征在于，控制裝置可運轉地連接于至少一個閥，用于使至少一個閥移動，從而選擇性地使壓載氣體與壓縮階段開放流體連通以及使壓載氣體的源和壓縮階段封鎖。?

6.根據權利要求5所述的渦旋泵，其特征在于，控制裝置包括安裝于泵入口的真空壓力計和運轉地連接于真空壓力計的控制器，并且控制裝置配置成基于當壓載氣體供給系統不能使用時由真空壓力計在泵入口檢測的流體壓強和當壓載氣體供給系統能夠使用并且供給壓載氣體到壓縮機構中時由真空壓力計在泵入口檢測的流體的壓強來計算監控壓強值。?

7.根據權利要求6所述的渦旋泵，其特征在于，控制器也運轉地連接于至少一個閥從而控制至少一個閥的定位。?

8.一種渦旋泵包括：?

具有泵入口的入口部和包括泵出口的排出部，流體由泵吸入所述泵入口中，流體通過所述泵出口從泵排出；?

構架；?

固定于構架并且包括定盤和從定盤突出的定渦旋葉片的定盤渦旋；?

包括動盤的動盤渦旋，和從動盤軸向地突出的動渦旋葉片，?

定渦旋葉片具有螺旋的形式，包括多個從定盤的中心部發出的連續的卷，動渦旋葉片具有螺旋的形式，包括多個從動盤的中心發出的連續的卷，并且動定渦旋葉片嵌套；?

插在定盤和動盤渦旋其中一個的渦旋葉片的軸向端部與定盤和動盤渦旋的另外一個的盤之間的尖端密封；?

由構架支承的偏心驅動機構，并且動盤渦旋聯接于偏心驅動機構從而在?圍繞泵的縱向軸線的軌道上由偏心驅動機構驅動，?

其中在動盤渦旋相對于定盤渦旋的軌道運動期間，一系列腔被同時地限定在嵌套的定渦旋葉片和動渦旋葉片之間，一系列腔構成泵的壓縮機構，各個腔選擇性地并且順次地與泵入口和泵出口開放連通，被限制在腔中的流體受到壓縮的壓縮過程發生在腔與泵入口開放連通的時間點和腔與泵出口開放連通的之后時間點之間；?

分別與在沿著流體通過泵的方向隔開的第一和第二點處的壓縮機構相關聯的壓強傳感器，?

其中壓強傳感器分別檢測從壓縮機構的一個部分最接近上游的第一位置處的在壓縮機構中流體的第一壓強并且檢測從壓縮機構的所述一個部分最接近下游的第二位置處的在壓縮機構中流體的第二壓強；以及?

控制裝置，配置成基于第一和第二檢測的壓強來計算監控壓強值，從而對比監控壓強值和參考壓強值，并且當監控壓強值和參考壓強至至少相差預定量時，輸出指示需要替換尖端密封的信號。?