[實(shí)用新型]機(jī)械臂結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420148835.7
• 申請(qǐng)日: 2014-03-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN203774273U
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-08-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周琦;許亮;李廣寧
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中芯國(guó)際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677;B25J9/08
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種機(jī)械臂結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體晶圓在制造過(guò)程中的反應(yīng)均在反應(yīng)腔室中進(jìn)行，半導(dǎo)體晶圓通常存放在晶圓存儲(chǔ)盒中，在進(jìn)行生產(chǎn)時(shí)，將晶圓存儲(chǔ)盒放置在設(shè)備機(jī)臺(tái)上，由設(shè)備機(jī)臺(tái)打開(kāi)所述晶圓存儲(chǔ)盒，并由機(jī)械臂托起半導(dǎo)體晶圓，并傳輸至反應(yīng)腔室內(nèi)，從而對(duì)半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行反應(yīng)。

為了能夠提高半導(dǎo)體晶圓的產(chǎn)量，降低生產(chǎn)耗費(fèi)的時(shí)間是一個(gè)重要的方式。為了能夠降低生產(chǎn)所耗費(fèi)的時(shí)間，其中一個(gè)方法是通過(guò)提高機(jī)械臂傳輸速度來(lái)實(shí)現(xiàn)。然而現(xiàn)有技術(shù)中機(jī)械臂為光滑的薄片，半導(dǎo)體晶圓僅放置在機(jī)械臂的表面，在機(jī)械臂的傳輸速度提高時(shí)，是非容易致使半導(dǎo)體晶圓的位置產(chǎn)生偏移，從而造成滑片現(xiàn)象，對(duì)半導(dǎo)體晶圓的生產(chǎn)造成較大的影響。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種機(jī)械臂結(jié)構(gòu)，能夠固定半導(dǎo)體晶圓，避免半導(dǎo)體晶圓位置發(fā)生偏移，提高傳輸速度，減少傳輸所需的時(shí)間。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提出了一種機(jī)械臂結(jié)構(gòu)，所述結(jié)構(gòu)包括：推動(dòng)器、盛放片、前端擋片以及多個(gè)滾珠，其中，所述盛放片的后端與所述推動(dòng)器相連，所述前端擋片固定在所述盛放片前端，所述多個(gè)滾珠位于所述盛放片的表面。

進(jìn)一步的，所述滾珠為4個(gè)，均勻位于所述盛放片的表面。

進(jìn)一步的，所述前端擋片固定設(shè)有一感應(yīng)器。

進(jìn)一步的，所述前端擋片的個(gè)數(shù)為2個(gè)，分別固定于所述盛放片前端的兩側(cè)。

進(jìn)一步的，所述前端擋片為半圓弧形。

進(jìn)一步的，所述盛放片的前端為半圓弧形。

進(jìn)一步的，所述推動(dòng)器底部設(shè)有多個(gè)均勻排列的滑輪。

進(jìn)一步的，所述推動(dòng)器內(nèi)部設(shè)有一計(jì)時(shí)器。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果主要體現(xiàn)在：在盛放片表面增加滾珠，半導(dǎo)體晶圓放置在滾珠上實(shí)現(xiàn)小摩擦滑動(dòng)，并在其前端增加前端擋片，后端連接推動(dòng)器，當(dāng)半導(dǎo)體晶圓放置在滾珠上之后，由推動(dòng)器推動(dòng)半導(dǎo)體晶圓前進(jìn)，直至與前端擋片觸碰后停止推動(dòng)，從而將半導(dǎo)體晶圓固定在前端擋片和推動(dòng)器之間，避免其在機(jī)械臂傳輸過(guò)程中發(fā)生位置偏移，進(jìn)而可以提高傳輸速度，減少傳輸所需的時(shí)間。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型一實(shí)施例中機(jī)械臂結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型一實(shí)施例中半導(dǎo)體晶圓放置在滾珠上的側(cè)視圖；

圖3為本實(shí)用新型一實(shí)施例中半導(dǎo)體晶圓放置在滾珠上之后推動(dòng)器推動(dòng)其與前端擋片接觸的側(cè)視圖；

圖4為本實(shí)用新型一實(shí)施例中半導(dǎo)體晶圓放置在滾珠上的俯視圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合示意圖對(duì)本實(shí)用新型的機(jī)械臂結(jié)構(gòu)進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實(shí)用新型，而仍然實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對(duì)本實(shí)用新型的限制。

為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本實(shí)用新型由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開(kāi)發(fā)中，必須做出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開(kāi)發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開(kāi)發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)僅僅是常規(guī)工作。

在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本實(shí)用新型。根據(jù)下面說(shuō)明和權(quán)利要求書(shū)，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說(shuō)明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。

請(qǐng)參考圖1，在本實(shí)施例中，提出了一種機(jī)械臂結(jié)構(gòu)，所述結(jié)構(gòu)包括：推動(dòng)器20、盛放片10、前端擋片12以及多個(gè)滾珠11，其中，所述盛放片10的后端與所述推動(dòng)器20相連，所述前端擋片12固定在所述盛放片10前端，所述多個(gè)滾珠11位于所述盛放片10的表面。