[實用新型]機械臂結構有效
| 申請號： | 201420148835.7 | 申請日： | 2014-03-28 |
| 公開（公告）號： | CN203774273U | 公開（公告）日： | 2014-08-13 |
| 發明（設計）人： | 周琦;許亮;李廣寧 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/677 | 分類號： | H01L21/677;B25J9/08 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 100176 北京市大興區*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 機械 結構 | ||
【權利要求書】：
1.一種機械臂結構，其特征在于，所述結構包括：推動器、盛放片、前端擋片以及多個滾珠，其中，所述盛放片的后端與所述推動器相連，所述前端擋片固定在所述盛放片前端，所述多個滾珠位于所述盛放片的表面。
2.如權利要求1所述的機械臂結構，其特征在于，所述滾珠為4個，均勻位于所述盛放片的表面。
3.如權利要求1所述的機械臂結構，其特征在于，所述前端擋片固定設有一感應器。
4.如權利要求3所述的機械臂結構，其特征在于，所述前端擋片的個數為2個，分別固定于所述盛放片前端的兩側。
5.如權利要求3所述的機械臂結構，其特征在于，所述前端擋片為半圓弧形。
6.如權利要求3所述的機械臂結構，其特征在于，所述盛放片的前端為半圓弧形。
7.如權利要求1所述的機械臂結構，其特征在于，所述推動器底部設有多個均勻排列的滑輪。
8.如權利要求1所述的機械臂結構，其特征在于，所述推動器內部設有一計時器。
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H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
