[實(shí)用新型]隔離結(jié)構(gòu)及裝載裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420147567.7
• 申請(qǐng)日: 2014-03-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN203894531U
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-10-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 毛曉峰
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中芯國(guó)際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G03F1/82
• 分類(lèi)號(hào): G03F1/82
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

1.一種隔離結(jié)構(gòu)，其特征在于：包括隔板和控制桿，所述控制桿的一端固設(shè)于所述隔板上。?

2.如權(quán)利要求1所述的隔離結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述控制桿上設(shè)置轉(zhuǎn)軸。?

3.如權(quán)利要求2所述的隔離結(jié)構(gòu)，其特征在于：還包括推動(dòng)桿，垂直固定于所述控制桿，且位于所述轉(zhuǎn)軸與所述隔板之間，所述推動(dòng)桿能夠帶動(dòng)所述控制桿使所述隔板繞所述轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)。?

4.如權(quán)利要求3所述的隔離結(jié)構(gòu)，其特征在于：還包括一底座，所述轉(zhuǎn)軸固設(shè)于所述底座上，所述推動(dòng)桿位于所述底座中的一容置空間內(nèi)。?

5.如權(quán)利要求4所述的隔離結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述推動(dòng)桿的一端凸出于所述底座，其上具有一把手。?

6.如權(quán)利要求4所述的隔離結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述底座包含平行所述推動(dòng)桿的止擋部，以控制所述推動(dòng)桿的轉(zhuǎn)動(dòng)范圍。?

7.如權(quán)利要求1-6任意一項(xiàng)所述的隔離結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述控制桿平行固設(shè)于所述隔板上。?

8.一種裝載裝置，包含裝載臺(tái)，其特征在于，還包括如權(quán)利要求4-6任意一項(xiàng)所述的隔離結(jié)構(gòu)，所述底座緊鄰所述裝載臺(tái)設(shè)置。?

9.如權(quán)利要求8所述的裝載裝置，其特征在于：所述裝載臺(tái)上具有多個(gè)裝載部且彼此間隔一定間距，所述隔離結(jié)構(gòu)包含多個(gè)所述隔板及控制桿，所述推動(dòng)桿垂直固定于所述多個(gè)控制桿的所述轉(zhuǎn)軸與所述隔板之間，每一所述隔板正對(duì)所述間距設(shè)置。?

10.如權(quán)利要求8所述的裝載裝置，其特征在于：所述隔板的一側(cè)面具有開(kāi)口。?

11.如權(quán)利要求8至10中任意一項(xiàng)所述的裝載裝置，其特征在于：所述裝載臺(tái)為光罩裝載臺(tái)。?