[實用新型]一種晶片固定器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420145946.2
• 申請日: 2014-03-28
• 公開（公告）號: CN203760447U
• 公開（公告）日: 2014-08-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張家豪;徐翊翔;黃欽澤;黃照明;徐勝娟;汪瑩;梅震
• 申請（專利權(quán)）人: 安徽三安光電有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種晶片固定器，其可安裝于晶片盒上應(yīng)用于晶片甩干制程。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體器件制造中，光刻、劃裂及ICP等工藝過程中均需對晶片進(jìn)行清洗和甩干。而在甩干過程中，位于晶片盒卡槽內(nèi)的晶片產(chǎn)生晃動，則晶片表面易被卡槽刮傷，造成電極擴(kuò)展條斷線，影響晶片制程良率。

發(fā)明內(nèi)容

針對上述問題，本實用新型提出了一種晶片固定器，其在甩干過程中可有效固定晶片，改善晶片表面刮傷狀況，改善晶片制程良率。

本實用新型解決問題的技術(shù)方案為：在晶片盒上增設(shè)晶片固定器，所述晶片固定器包括橫杠、前后兩端部以及固定板，所述前后兩端部通過橫杠連接，所述固定板安置于橫杠內(nèi)表面兩側(cè)；當(dāng)所述晶片固定器安裝于晶片盒上時，所述固定板與晶片盒內(nèi)的晶片上邊緣接觸，在晶片甩干過程中用以固定晶片位置。

優(yōu)選地，所述固定板為一系列肋條，其數(shù)目大于或者等于晶片盒卡槽數(shù)。

優(yōu)選地，所述固定板為一整體，其上有圓圈狀、條狀或其它形狀通孔。

優(yōu)選地，所述晶片固定器材質(zhì)為塑料。

在一些實施例中，所述橫杠中部兩側(cè)設(shè)有一安裝裝置，該安裝裝置包括一安裝板，且該固定板與前后兩端部的側(cè)邊均具有鉤狀，與晶片盒兩側(cè)壁凸出邊緣吻合，用于固定晶片固定器。

在一些實施例中，所述兩端部與晶片盒前后部接觸處具有鉤狀，與晶片盒前后端邊緣吻合，用于固定晶片固定器。

本實用新型至少具有以下有益效果：所述晶片固定器，其在甩干過程中可有效固定晶片，改善晶片表面刮傷狀況，減少此刮傷造成的造成電極擴(kuò)展條斷線狀況，改善晶片制程良率。

附圖說明

附圖用來提供對本實用新型的進(jìn)一步理解，并且構(gòu)成說明書的一部分，與本實用新型的實施例一起用于解釋本發(fā)明，并不構(gòu)成對本實用新型的限制。此外，附圖數(shù)據(jù)是描述概要，不是按比例繪制。

圖1為本實用新型之實施例1之晶片固定器安裝于晶片盒時外表面俯視圖。

圖2為本實用新型之實施例1之晶片固定器內(nèi)表面俯視圖。

圖3為本實用新型之實施例1之晶片固定器安裝于晶片盒時端部截面圖。

圖4為本實用新型之實施例2之晶片固定器安裝于晶片盒時外表面俯視圖。

圖5為本實用新型之實施例2之晶片固定器內(nèi)表面俯視圖。

圖6為本實用新型之實施例2之晶片固定器安裝于晶片盒時端部外表面截面圖。

圖7為本實用新型之實施例2之晶片固定器安裝于晶片盒時端部內(nèi)表面截面圖。

圖8為本實用新型之實施例3之晶片固定器內(nèi)表面俯視圖。

圖9為本實用新型之實施例4之晶片固定器內(nèi)表面俯視圖。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型的具體實施方式進(jìn)行詳細(xì)說明。

實施例1

請參看附圖1~3，一種晶片固定器包括橫杠200、前后兩端部100以及固定板300，所述固定板300安置于橫杠200內(nèi)表面兩側(cè)，為一系列肋條，其數(shù)目大于或等于晶片盒卡槽510數(shù)目，如果肋條數(shù)目等于晶片盒卡槽數(shù)目，則每對肋條對應(yīng)一個晶片盒卡槽；如果肋條數(shù)目大于晶片盒卡槽數(shù)目，則一個晶片盒卡槽可對應(yīng)多對肋條，用于增強固定板的固定作用；將晶片固定器安裝于晶片盒500上，使固定板300與晶片盒內(nèi)的晶片600上邊緣接觸，在晶片甩干過程中用以固定晶片600。

具體地，參看附圖2和3，前后兩端部100連接于橫杠200的兩端，且兩端部接觸晶片盒側(cè)設(shè)置有鉤狀110，橫杠中間兩側(cè)連接有安裝板400，該固定板接觸晶片盒側(cè)面設(shè)置有鉤狀410，將晶片固定器安裝于晶片盒500上，鉤狀110、410與晶片盒500兩側(cè)壁凸出邊緣510吻合，用于固定晶片固定器，使其在甩干過程中不會因旋轉(zhuǎn)而掉落；固定板300與晶片600上邊緣接觸，將晶片600固定于卡槽510內(nèi)，使其在甩干過程中不產(chǎn)生劇烈晃動，從而減小晶片600與卡槽510邊緣發(fā)生摩擦的幾率，改善晶片表面的可能被刮傷狀況，進(jìn)而改善晶片制程良率。

實施例2

請參看附圖4~7，一種晶片固定器包括橫杠200、前后兩端部100以及固定板300，所述固定板300設(shè)置于橫杠200內(nèi)表面兩側(cè)，固定板300為一系列肋條，其數(shù)目大于或者等于晶片盒卡槽510的數(shù)目；將晶片固定器安裝于晶片盒500上，使固定板300與晶片盒內(nèi)的晶片600上邊緣接觸，在晶片甩干過程中用以固定晶片600。