[實用新型]一種藥液噴嘴的清洗裝置及清洗平臺有效
| 申請號： | 201420142270.1 | 申請日： | 2014-03-27 |
| 公開（公告）號： | CN204148064U | 公開（公告）日： | 2015-02-11 |
| 發明（設計）人： | 徐佳;張弢;劉鵬 | 申請（專利權）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | B05B15/02 | 分類號： | B05B15/02 |
| 代理公司： | 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吳世華;林彥之 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 藥液 噴嘴 清洗 裝置 平臺 | ||
1.一種藥液噴嘴的清洗裝置，所述藥液噴嘴用于向晶片噴射藥液，其特征在于，包括：
清洗槽，設置在清洗機臺的一側，其上部設有插入藥液噴嘴的開口；
至少一個液體噴嘴，配置在清洗槽內向所述藥液噴嘴噴射清洗液，所述液體噴嘴連接液體管路，且所述液體管路上設有閥門；
至少一個氣體噴嘴，配置在清洗槽內向所述藥液噴嘴噴射惰性氣體，所述氣體噴嘴連接氣體管路，且所述氣體管路上設有閥門；
排液管道，配置在清洗槽底部用于排出清潔后的清洗液；
其中，當清洗機臺停止工作時，將藥液噴嘴移動至所述清洗槽內，所述液體噴嘴與所述氣體噴嘴對藥液噴嘴清洗并吹干。
2.根據權利要求1所述的藥液噴嘴的清洗裝置，其特征在于，所述氣體噴嘴位于所述液體噴嘴的上方。
3.根據權利要求1所述的藥液噴嘴的清洗裝置，其特征在于，所述液體管路連接清洗液存儲單元。
4.根據權利要求1所述的藥液噴嘴的清洗裝置，其特征在于，所述氣體管路連接惰性氣體存儲單元。
5.根據權利要求1所述的藥液噴嘴的清洗裝置，其特征在于，所述清洗槽內設有多個所述液體噴嘴或/且設有多個所述氣體噴嘴。
6.根據權利要求5所述的藥液噴嘴的清洗裝置，其特征在于，所述液體噴嘴或/和所述氣體噴嘴的在所述清洗槽內的水平方向上均勻配置。
7.根據權利要求5所述的藥液噴嘴的清洗裝置，其特征在于，所述氣體噴嘴向下傾斜噴射惰性氣體。
8.一種清洗平臺,其特征在于，在清洗機臺的側邊圓周方向上設有如權利要求1～7任一所述的藥液噴嘴的清洗裝置。
9.根據權利要求8所述的清洗平臺，其特征在于，所述藥液噴嘴相對于所述清洗機臺可水平左右移動且豎直上下移動。
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