[實用新型]一種大直徑碳化硅晶片的邊緣倒角用砂輪有效
| 申請號： | 201420140316.6 | 申請日： | 2014-03-26 |
| 公開（公告）號： | CN203726355U | 公開（公告）日： | 2014-07-23 |
| 發明（設計）人： | 梁慶瑞;李兆亮;郭立濤;孫詩甫;高玉強 | 申請（專利權）人： | 山東天岳晶體材料有限公司 |
| 主分類號： | B24D5/14 | 分類號： | B24D5/14 |
| 代理公司： | 濟南舜源專利事務所有限公司 37205 | 代理人： | 苗峻 |
| 地址： | 250118 山東*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 直徑 碳化硅 晶片 邊緣 倒角 砂輪 | ||
【權利要求書】：
1.一種大直徑碳化硅晶片的邊緣倒角用砂輪，其特征在于：該砂輪（2）包括砂輪中心軸（1），砂輪（2）側面設置有兩組砂輪槽組，其中一組為粗倒角砂輪槽組（3），另一組為精倒角砂輪槽組（4），每組砂輪槽組中均設置有至少一條砂輪槽；
所述的粗倒角砂輪槽組（3）中的砂輪采用100-1500目的金剛石砂輪；
所述的精倒角砂輪槽組（4）中的砂輪采用500-3000目的金剛石砂輪。
2.根據權利要求1所述的砂輪，其特征在于：所述的精倒角所采用的金剛石砂輪目數大于粗倒角采用的金剛石砂輪目數。
3.根據權利要求1所述的砂輪，其特征在于：所述的砂輪（2）以砂輪中心軸（1）為圓心進行旋轉。
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